[发明专利]一种三维纳米X射线显微镜专用样品的制备方法

权利要求书

1.一种三维纳米X射线显微镜专用样品的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：根据所测试样形态、导电性、韧脆性和实验室仪器配置情况，选择初加工方法为电火花线切割、金刚石锯、冷镶嵌或者热镶嵌，制备初始样品；

步骤2：将步骤1的初始样品，根据材料硬度选择砂纸打磨；砂纸型号按顺序依次选择200#至3500#，打磨到粗糙度小于3微米；

步骤3：完成步骤2，初始样品表面尺寸不小于2mm×2mm，厚度介于1~80微米之间；

步骤4：选择锋利度高的刀片，刀片边缘形貌为直线，能够切出直线度好的边；

步骤5：采用步骤4选择的刀片，在步骤3所得的初始样品上，采取两刀法切取尖角样品；

所述两刀法的具体步骤为：

第一刀，将步骤3所得的样品一分为二，形成一条新鲜边；

第二刀，在第一刀切取所得的两份样品中，选择一份，以新鲜边为0°边，沿45°的某一角度方向，将样品再次一分为二，得到一个具有两条新鲜边和顶角45°的尖角样品；

步骤6：选择快干胶，将尖角样品粘在大头针或类似金属棒材一端，放置24小时后，进行三维纳米X射线显微镜不同空间分辨率和不同衬度的三维成像测试；

步骤1中，如果待测试样导电、具有规则形状，并且尺寸满足夹持的要求，使用电火花线切割制备初始样品，其厚度介于0.2~3mm之间；

步骤1中，如果待测试样不导电、具有规则形状，并且尺寸满足夹持的要求，使用金刚石锯制备初始样品，其厚度介于0.2~3mm之间；

步骤1中，如果待测试样形状不规则，或者尺寸不满足夹持的要求，或者其他任何类型的待测试样，均可使用冷镶嵌或者热镶嵌的方法对试样进行镶嵌，放置24h后，再使用金刚石锯对镶嵌样品进行切割，制备初始样品，其厚度介于0.2~3mm之间。

2.根据权利要求1所述的三维纳米X射线显微镜专用样品的制备方法，其特征在于，步骤2中，打磨完毕后，对冷镶嵌的样品进行丙酮处理，去掉镶嵌材料，保留目标样品。

3.根据权利要求1所述的三维纳米X射线显微镜专用样品的制备方法，其特征在于，步骤3中，如果样品三维成像的空间分辨率要求50纳米，样品的厚度介于1~20微米之间；如果样品三维成像的空间分辨率要求150纳米，样品的厚度介于1~80微米之间。

4.根据权利要求1所述的三维纳米X射线显微镜专用样品的制备方法，其特征在于，步骤6中，快干胶为环氧树脂AB胶，实现5分钟快干。