[发明专利]配备连接器移送部的气体供应装置及其连接器结合方法

说明书

本发明的目的在于提供一种配备有能够在阀连接器和连接配管连接器结合时最小化螺纹的磨损而提高部件的耐久性的连接器移送部的气体供应装置以及气体供应装置的连接器结合方法。为了实现其的气体供应装置，包括：连接器紧固部，包括连接配管连接器和连接配管连接器壳体，所述连接配管连接器的一侧和另一侧分别与配备在容器的阀连接器和气体需求处连接，所述连接配管连接器壳体围绕所述连接配管连接器的外侧，并且配备为与所述连接配管连接器一起旋转；第一移送机构，用于将整个所述连接器紧固部向所述阀连接器方向移送；连接器移送部，用于将所述连接配管连接器向所述阀连接器方向移送。

技术领域

本发明涉及配备有连接器移送部的气体供应装置以及气体供应装置的连接器结合方法，更加详细地，涉及配备有用于移送结合到容器侧的阀连接器的连接配管连接器的连接器移送部的气体供应装置以及气体供应装置的连接器结合方法。

背景技术

通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备等进行精细操作的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。

为了有效地提供这样的气体，以高压状态保管许多种类的气体，尤其是，具有可燃性、毒性、腐蚀性等有害性质的气体在与人类隔离的独立空间被严格管理。

保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接在气体需求处，如果容器中保管的气体被全部耗尽，则从气体容器的阀分离连接在气体需求处的连接配管之后更换容器，然后将包括连接在气体需求处的连接配管连接器的连接器紧固部结合到更换后的容器的阀连接器而重新供应气体。

在所述连接器紧固部的侧部配备有用于分离覆盖容器的阀部连接器的端部的盖体的盖体分离部。

并且，可以配备有用于旋转所述盖体分离部和所述连接器紧固部的旋转机构以及用于固定这些部件的多个板和壳体。驱动所述旋转机构将连接器紧固部结合到阀连接器。

并且，为了将连接器紧固部结合到所述容器的阀连接器，需要配备有用于向阀连接器方向移送连接器紧固部的移送机构。

在通过移送机构移送所述连接器紧固部的同时，连接器紧固部通过所述旋转机构的旋转而旋转，从而实现阀连接器和连接配管连接器的螺纹结合。

在此情形下，所述移送机构配备为：向容器的阀连接器方向一体地移送所述盖体分离部和连接器紧固部以及用于固定它们的板和壳体。在此情形下，如果在结合所述阀连接器和连接配管连接器时一体地移送它们，则由于移送的部件的重量过重，在连接配管连接器结合到阀连接器时可能由于接触冲击而发生螺纹的磨损。

作为关于半导体设备的气体供应装置的现有技术，公开有韩国授权专利第10-0242982号。

发明内容

本发明是用于解决上述的诸般问题而想出的，其目的在于提供一种配备有能够在阀连接器和连接配管连接器结合时最小化螺纹的磨损而提高部件的耐久性的连接器移送部的气体供应装置以及气体供应装置的连接器结合方法。

本发明的另一目的在于，提供一种配备有能够在连接配管连接器和阀连接器结合时最小化部件之间的摩擦的连接器移送部的气体供应装置以及气体供应装置的连接器结合方法。

为了达成所述目的的本发明的气体供应装置，包括：连接器紧固部，包括连接配管连接器和连接配管连接器壳体，所述连接配管连接器的一侧和另一侧分别与配备在容器的阀连接器和气体需求处连接，所述连接配管连接器壳体围绕所述连接配管连接器的外侧，并且配备为与所述连接配管连接器一起旋转；第一移送机构，用于将整个所述连接器紧固部向所述阀连接器方向移送；连接器移送部，用于将所述连接配管连接器向所述阀连接器方向移送。

所述连接器移送部可以包括：连接器卡接部件，实现与所述连接配管连接器的卡接；连接器移动驱动部，提供用于将所述连接器卡接部件向所述阀连接器方向移送。