[发明专利]旋转角确定测量系统中的集成式旋转角确定传感器单元

权利要求书

1.一种集成式旋转角确定传感器单元(10)，

-所述旋转角确定传感器单元位于用于旋转角确定的测量系统中，所述测量系统具有能够围绕旋转轴线(15)旋转的轴，所述轴具有发送器，

-所述旋转角确定传感器单元具有构造为芯片裸片的第一半导体层(20)，所述第一半导体层具有垂直于所述旋转轴线(15)布置的上侧和下侧以及单片式地构造在所述第一半导体层(20)中的第一霍尔传感器系统(50)，并且

-所述旋转角确定传感器单元具有构造为芯片裸片的第二半导体层(22)，所述第二半导体层具有垂直于所述旋转轴线(15)布置的上侧和下侧以及单片式地构造在所述第二半导体层(22)中的第二霍尔传感器系统(60)，其中，

-每个霍尔传感器系统(50、60)至少具有第一霍尔传感器(52、62)、第二霍尔传感器(54、64)和第三霍尔传感器(56、66)，

-所述第一霍尔传感器系统(50)的三个霍尔传感器(52、54、56)沿着一第一圆区段(70)构造，所述第一圆区段平行于所述第一半导体层(20)的上侧(30)延伸并且相对于所述旋转轴线(15)同心地布置，

-所述第二霍尔传感器系统(60)的三个霍尔传感器(62、64、66)沿着一第二圆区段(80)构造，所述第二圆区段平行于所述第二半导体层(22)的上侧延伸并且相对于所述旋转轴线(15)同心地布置。

2.根据权利要求1所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，霍尔传感器(52、54、56、62、64、66)相同地构造，并且所述第一圆区段(70)具有大于或小于所述第二圆区段(80)的半径，或者所述第一圆区段(70)和所述第二圆区段(80)具有相同的半径。

3.根据权利要求1或2所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，两个芯片裸片并排地布置在一金属载体(LF)上，并且所述第一圆区段(70)和所述第二圆区段(80)共同构造一整圆，并且所述第一霍尔传感器系统(50)的霍尔传感器(52、54、56)和所述第二霍尔传感器系统(60)的霍尔传感器(62、64、66)沿着同心地围绕所述旋转轴线(15)构造的一共同的整圆布置。

4.根据权利要求3所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，霍尔传感器(52、54、56、62、64、66)旋转对称地布置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，所述旋转角确定传感器单元(10)具有第一磁阻传感器单元(100)，所述第一磁阻传感器单元具有至少一个磁阻传感器，并且所述第一磁阻传感器单元(100)构造在所述第一半导体层(20)的上侧上和所述第二半导体层(22)的上侧上。

6.根据权利要求1所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，所述第一半导体层(20)的下侧布置在一金属载体(LF)的上侧上，并且所述第二半导体层(22)的下侧布置在所述金属载体的下侧上，并且所述旋转轴线(15)的假想延长线穿过两个半导体层(20、22)。

7.根据权利要求1或6所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，所述第一霍尔传感器系统(50)的霍尔传感器(52、54、56)沿着所述第一圆区段(70)构造第一半圆，并且所述第二霍尔传感器系统(60)的霍尔传感器(62、64、66)沿着所述第二圆区段(80)构造第二半圆，其中，这两个半圆分别同心地围绕所述旋转轴线(15)布置。

8.根据权利要求1或权利要求6或权利要求7所述的集成式旋转角确定传感器单元(10)，其特征在于，设置有第一磁阻传感器单元(100)，所述第一磁阻传感器单元构造在所述第一半导体层(20)的上侧上并且具有至少一个磁阻传感器的，和/或设置有第二磁阻传感器单元(102)，所述第二磁阻传感器单元构造在所述第二半导体层(22)的上侧上并且具有至少一个磁阻传感器的。