[发明专利]一种柔性集成皮层脑电极及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性集成皮层脑电极，其特征在于，包括衬底(1)、电极柔性支撑层(2)、电极结构(3)和绝缘层(4)；

所述衬底(1)上设有所述电极柔性支撑层(2)；

所述电极柔性支撑层(2)上设有所述电极结构(3)；

所述电极结构(3)上设有所述绝缘层(4)，所述绝缘层(4)包括电极孔(41)，所述电极孔(41)与所述电极结构(3)的触点电极对应；

其中，所述电极结构(3)包括刺激电极结构(32)和采集电极结构(31)，所述刺激电极结构(32)用于刺激产生脑电信号，所述采集电极结构(31)用于采集所述脑电信号。

2.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述触点电极包括采集电极(311)和刺激电极(321)；

所述采集电极(311)为所述采集电极结构(31)的电极；

所述刺激电极(321)为所述刺激电极结构(32)的电极；

所述采集电极(311)与所处刺激电极(321)的分布方式为非均匀分布。

3.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述采集电极(311)与所述刺激电极(321)的分布方式为交叉分布。

4.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述衬底(1)的厚度为0.1～1000μm。

5.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述电极柔性支撑层(2)的厚度为0.1～100μm。

6.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述衬底(1)的材料包括交联后的蚕丝蛋白膜。

7.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述刺激电极结构(32)包括第一刺激电极材料层和第二刺激电极材料层；

所述第二刺激电极材料层设于所述第一刺激电极材料层上；

所述第一刺激电极材料层的材料为铬；

所述第二刺激电极材料层的材料包括金、银或者铂；

所述采集电极结构(31)包括第一采集电极材料层和第二采集电极材料层；

所述第二采集电极材料层设于所述第一采集电极材料层上；

所述第一采集电极材料层的材料为铬；

所述第二采集电极材料层的材料包括铂、铱、氧化铱或者铂铱合金。

8.根据权利要求1所述的柔性集成皮层脑电极，其特征在于，所述电极柔性支撑层(2)为非降解型柔性薄膜材料。

9.一种柔性集成皮层脑电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一表面具有二氧化硅的硅衬底(5)；

在所述硅衬底的表面形成电极柔性支撑层(2)；

在所述电极柔性支撑层(2)上形成预设形状的电极结构(3)，得到未封装电极结构(9)，所述电极结构(3)包括刺激电极结构(32)和采集电极结构(31)，所述刺激电极结构(32)用于刺激产生脑电信号，所述采集电极结构(31)用于采集所述脑电信号；

在所述未封装电极结构(9)上形成绝缘层(4)；

图形化所述绝缘层(4)，在所述绝缘层(4)上形成电极孔(41)，得到待释放电极结构(13)，所述电极孔(41)与所述电极结构(3)的电极对应；

去除所述待释放电极结构(13)的所述硅衬底，得到待转移电极结构(14)；

将所述待转移电极结构(14)转移至衬底(1)上，得到脑电极结构(3)。

10.根据权利要求9所述的柔性集成皮层脑电极的制作方法，其特征在于，

形成所述预设形状的电极结构(3)的工艺方法为lift-off工艺。