[发明专利]连续拉晶装置和连续拉制晶棒的方法

权利要求书

1.一种连续拉晶装置，其特征在于，包括：

坩埚，所述坩埚包括第一坩埚和第二坩埚，所述第二坩埚位于所述第一坩埚的内侧，所述第一坩埚和所述第二坩埚之间形成有加料空间；

导流筒，所述导流筒位于所述坩埚的上方；

物料运输管道，所述物料运输管道用于将物料供应到所述坩埚中，所述物料运输管道与所述加料空间相对应设置；

其中，所述第二坩埚的内径与所述导流筒的外径之间的比例≥1.05；

在第一状态下，所述导流筒的底面与所述坩埚的底面之间的距离为第一距离；在第二状态下，所述导流筒的底面与所述坩埚的底面之间的距离为第二距离，所述物料运输管道适于延伸至所述加料空间内；其中，所述第一距离大于所述第二距离；且在所述第一状态和所述第二状态下，所述导流筒的底面与所述坩埚内的晶液界面之间的距离保持不变。

2.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述第二坩埚的内径与所述导流筒的外径之间的比例为1.09至1.3。

3.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述导流筒包括直筒部，所述第二坩埚的内侧壁与所述导流筒的直筒部的外侧壁之间具有间隙，所述间隙的距离为50mm-150mm。

4.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述导流筒的外径为500mm-550mm；

所述第二坩埚的内径为600mm-650mm，和/或，所述第一坩埚的内径为750mm-800mm。

5.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，向所述坩埚内初始投加的物料质量为第一质量，拉制最后一根晶棒结束后所述坩埚内剩余的物料质量为第二质量，所述第二质量为所述第一质量的0.03倍至0.05倍。

6.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述物料运输管道包括直臂部，在所述第一状态下所述直臂部伸入所述加料空间内的长度小于在所述第二状态下所述直臂部伸入所述加料空间内的长度。

7.根据权利要求6所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述直臂部的长度为180mm-300mm。

8.根据权利要求1-7任一项所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述连续拉晶装置还包括升降机构；

所述升降机构与所述坩埚连接，用于升降所述坩埚；

和/或，所述升降机构与所述导流筒连接，用于升降所述导流筒。

9.根据权利要求8所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述升降机构包括升降杆和驱动部，所述升降杆的一端连接于所述第一坩埚的外部；

所述驱动部与所述升降杆连接，用于驱动所述升降杆运动并带动所述坩埚运动。

10.一种连续拉制晶棒的方法，其特征在于，应用于权利要求1-9任一项所述的连续拉晶装置，所述方法包括：

在所述第一坩埚和第二坩埚之间形成的加料空间提供有第一晶液，在所述第二坩埚内提供有第二晶液，所述第二晶液用于拉制多个晶棒，且所述加料空间内的第一晶液可以流入所述第二坩埚内用以补偿在拉制多个晶棒时造成的第二晶液的消耗；

向所述第二晶液提供晶种，从所述第二晶液中提拉所述晶种以生长出所述晶棒；

其中，在拉制所述多个晶棒的最后一根晶棒时，调节所述第二坩埚和/或所述导流筒的位置使得所述第二坩埚内的第二晶液的界面与所述导流筒的底面的距离保持恒定。