[发明专利]堆积量信息取得装置、成膜装置、开闭装置、成膜方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种堆积量信息取得装置，取得与从成膜装置内的成膜源放出并堆积在成膜对象物上的成膜材料的堆积量相关的信息，其特征在于，所述堆积量信息取得装置包括：

测量部件，所述测量部件具有测量元件，所述测量元件测量与从所述成膜源放出并堆积的成膜材料的量相关联的信息；以及

开闭部件，所述开闭部件具有遮蔽部和孔状的开放部，所述遮蔽部从所述成膜源遮蔽所述测量元件，所述开放部使所述测量元件相对于所述成膜源露出，所述开闭部件能够以所述测量元件通过所述开放部而以规定的周期露出的方式旋转，

所述开闭部件包括旋转识别部，所述旋转识别部设置在所述开闭部件的外周部，能够识别所述开闭部件是否旋转。

2.如权利要求1所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部设置于在所述开闭部件旋转期间不使所述测量元件向所述成膜源露出的位置。

3.如权利要求2所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部在所述开闭部件旋转期间，不通过将所述测量元件与所述成膜源连接的任意的直线上。

4.如权利要求3所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部设置在比所述开放部靠所述开闭部件的外周部侧的位置。

5.如权利要求3所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部设置于所述开闭部件的所述遮蔽部。

6.如权利要求5所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部包括从所述遮蔽部的周缘部朝向中央部设置的切口部。

7.如权利要求5所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部的颜色以及材质中的至少一方与所述遮蔽部的其他部分不同。

8.如权利要求7所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述旋转识别部是与所述遮蔽部独立地另行设置于所述遮蔽部的外周部的部件。

9.如权利要求1所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述测量元件包括石英谐振器。

10.如权利要求1所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述测量部件具有多个测量元件，

所述堆积量信息取得装置包括罩部件，所述罩部件设置成与所述测量部件相向，所述罩部件具有使所述多个测量元件中的一个测量元件向所述成膜源露出的开口，

所述开闭部件能够以通过所述开口使所述一个测量元件相对于所述成膜源以所述规定的周期露出的方式旋转。

11.如权利要求1所述的堆积量信息取得装置，其特征在于，

所述堆积量信息取得装置还包括堆积量信息计算部，所述堆积量信息计算部基于堆积在所述测量元件上的所述成膜材料的量，计算与在所述成膜对象物上成膜的所述成膜材料的堆积量相关的信息。

12.一种成膜装置，其特征在于，包括：

真空容器；

成膜源，所述成膜源设置在所述真空容器内，放出成膜材料；

成膜对象物保持单元，所述成膜对象物保持单元设置在所述真空容器内，保持成膜对象物；以及

权利要求1～11中任一项所述的堆积量信息取得装置，所述堆积量信息取得装置取得与堆积在所述成膜对象物上的所述成膜材料的堆积量相关的信息。

13.一种开闭装置，其特征在于，所述开闭装置包括：

开闭部件，所述开闭部件具有遮蔽部和孔状的开放部，设置成能够旋转；以及

旋转驱动部，所述旋转驱动部使所述开闭部件以规定的速度旋转，

所述开闭部件包括旋转识别部，所述旋转识别部设置在所述开闭部件的外周部，用于识别所述开闭部件是否旋转。