[发明专利]流通压力传感器

权利要求书

1.一种用于去除传感器组件中的死区体积的装置，所述装置包括：

第一贮存器，所述第一贮存器连接到第一压力换能器，并且具有在采样流动路径中的一位置处流体连通的端口；

第二贮存器，所述第二贮存器连接到第二压力换能器，通过流通路径流体地连接到所述第一贮存器，并且具有在另一采样流动路径的另一位置处流体连通的另一端口；以及

限流器，所述限流器布置在所述流通路径中。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述第一压力换能器是绝对压力换能器，并且所述第二压力换能器是从包括另一绝对压力换能器和差压换能器的组中选择的一个换能器。

3.如权利要求1所述的装置，其中，所述第二压力换能器是差压换能器，并且所述第二压力换能器是从包括绝对压力换能器和另一差压换能器的组中选择的一个换能器。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述流通路径在所述第一贮存器与所述第二贮存器之间。

5.如权利要求1所述的装置，其中，所述流通路径将所述第一贮存器的一端与所述第二贮存器的另一端流体地连接。

6.如权利要求1所述的装置，其中，基于放泻时间确定所述第一贮存器的体积，所述放泻时间是通过将相应贮存器中的体积除以MFC的满量程流速来确定的。

7.如权利要求1所述的装置，其中，基于放泻时间确定所述第二贮存器的体积，所述放泻时间是通过将相应贮存器中的体积除以MFC的满量程流速来确定的。

8.一种用于去除质量流量控制器的传感器组件中的死区体积的系统，所述系统包括：

阀组件，所述阀组件与主流动路径中的流体处于流体连通；

压力传感器组件，所述压力传感器组件与所述主流动路径中的流体处于流体连通，所述压力传感器组件包括：

第一贮存器，所述第一贮存器连接到第一压力换能器，并且具有在采样流动路径中的一位置处流体连通的端口；

第二贮存器，所述第二贮存器连接到第二压力换能器，通过流通路径流体地连接到所述第一贮存器，并且具有在另一采样流动路径的另一位置处流体连通的另一端口；

其中，所述第一压力换能器和所述第二压力换能器与所述阀组件可连通地连接。

9.如权利要求8所述的系统，其中，所述第一压力换能器是绝对压力换能器，并且所述第二压力换能器是从包括另一绝对压力换能器和差压换能器的组中选择的一个换能器。

10.如权利要求8所述的系统，其中，所述第二压力换能器是差压换能器，并且所述第二压力换能器是从包括绝对压力换能器和另一差压换能器的组中选择的一个换能器。

11.如权利要求8所述的系统，其中，所述流通路径在所述第一贮存器与所述第二贮存器之间。

12.如权利要求8所述的系统，其中，所述流通路径将所述第一贮存器的一端与所述第二贮存器的另一端流体地连接。

13.如权利要求8所述的系统，其中，基于放泻时间确定所述第一贮存器的体积，所述放泻时间是通过将相应贮存器中的体积除以MFC的满量程流速来确定的。

14.如权利要求8所述的系统，其中，基于放泻时间确定所述第二贮存器的体积，所述放泻时间是通过将相应贮存器中的体积除以MFC的满量程流速来确定的。

15.一种用于去除质量流量控制器的传感器组件中的死区体积的方法，所述方法包括：

通过端口将流体从主流动路径泵送到与第一压力换能器连接的第一贮存器中；以及

通过流通路径将流体从所述第一贮存器泵送到与第二压力换能器连接的第二贮存器，并且泵送通过另一端口。