[发明专利]基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪有效

专利信息
申请号: 202010887578.9 申请日: 2020-08-28
公开(公告)号: CN112013973B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 张军勇;张秀平;张艳丽;唐顺兴;朱健强 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 光子 剪切 干涉仪
【权利要求书】:

1.一种基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪,其特征在于,包括待测波前(1)、斐波那契光子筛(2)、小孔光阑(3)、供小孔光阑(3)放置的第一三维平移台(4)、图像探测器(7)、供图像探测器(7)放置的第三三维平移台(8)和计算机(9);

所述的斐波那契光子筛(2)的两焦距分别为f1和f2,对应的一级衍射角分别为θ1和θ2,对应的第一焦面P1和第二焦面P2的间距为△z;所述的小孔光阑(3)位于所述的第一焦面P1或所述的第二焦面P2位置;所述的斐波那契光子筛(2)对所述的待测波前(1)成像,且所述的图像探测器(7)位于该斐波那契光子筛(2)的像面位置;

所述的待测波前(1)入射到所述的斐波那契光子筛(2)后,经过所述的小孔光阑(3),到达所述的图像探测器(7),该图像探测器(7)记录四波横向剪切干涉图;

所述的小孔光阑(3)由“回”字形的八个小孔组成,内圈四个小孔孔距a1相同,且a1=2f1θ1,内圈四个小孔孔径b1相同,且远大于艾里斑直径且不超过0.5a1;外圈四个小孔孔距a2相同,且a2=2f2θ2,外圈四个小孔孔径b2相同,且远大于艾里斑直径且不超过0.5a2

当所述的小孔光阑(3)位于所述的第一焦面P1处,对应于第一衍射聚焦特性的所述的斐波那契光子筛(2)的(±1,±1)级四支衍射光束通过所述的小孔光阑(3);当所述的小孔光阑(3)位于所述的第二焦面P2处,对应于第二衍射聚焦特性的所述的斐波那契光子筛(2)的(±1,±1)级四支衍射光束通过所述的小孔光阑(3);

所述的图像探测器(7)的输出端与所述的计算机(9)的输入端连接;所述的计算机(9)具有数据记录采集与处理软件,用来存储四波横向剪切干涉图、提取所述的待测波前(1)的两正交差分波前相位分布及重构所述的待测波前(1)。

2.利用权利要求1所述的基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪,其特征在于,还包括聚焦透镜(5)和供聚焦透镜(5)放置的第二三维平移台(6);所述的聚焦透镜(5)与所述的斐波那契光子筛(2)共焦,放置于所述的小孔光阑(3)后方光路上,对所述的待测波前(1)成像,且所述的图像探测器(7)位于该聚焦透镜(5)的像面位置。

3.利用权利要求1所述的基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪,其特征在于,所述的斐波那契光子筛(2)具有多重衍射聚焦特性,用于产生不同剪切比的四波横向剪切干涉图。

4.利用权利要求3所述的基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪,其特征在于,所述的斐波那契光子筛(2)为光子筛器件、波带片和具有多重衍射聚焦功能的其他调制器件。

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