[发明专利]一种光谱测量光电传感器

权利要求书

1.一种光谱测量光电传感器，由平行光源、分光装置和光电传感器组成，其特征在于：所述分光装置包含组件外壳、入射腔、三棱镜和出射腔，所述组件外壳为带折角的不透光圆筒外壳；所述入射腔、三棱镜、出射腔设置于不透光圆筒外壳内，为熔铸一体的石英装置，入射腔、出射腔外壁均为圆筒结构，圆筒内部真空，入射腔、出射腔分别设置在三棱镜的两侧；所述不透光圆筒外壳的一端设有水平狭缝，供平行光源的光平行射入到入射腔中，不透光圆筒外壳的另一端设有竖直展宽狭缝，供出射腔内的光射出；所述光电传感器为紫外线性阵列探测器，设置在竖直展宽狭缝内，用于探测从竖直展宽狭缝中出射的光；所述光电传感器由N个AlGaN探测器沿竖直展宽狭缝的一维方向排列而成，每个探测器对应的波长通过标准单色仪率定，探测器芯片材质为AlxGa1-xN三元合金材料，x为Al组分，取值根据平行光源的最大波长W来设定，具体关系满足x=（1240/W-3.397）/2.8。

2.根据权利要求1所述的光谱测量光电传感器，其特征在于：平行光源为紫外平行光源，外形为圆柱型，平行光出光方向沿圆柱的轴线方向，发光波长范围为250nm-365nm。

3.根据权利要求2所述的光谱测量光电传感器，其特征在于：所述光电传感器有M个， M个光电传感器并排放置在竖直展宽狭缝内，形成M*N的矩阵阵列紫外探测器。

4.根据权利要求3所述的光谱测量光电传感器，其特征在于：矩阵阵列紫外探测器中每个AlGaN探测器的波长标定方式为：采用波长为Ei的标准单色平行光源作为入射光源，i=1、2、…、N，Ei在250nm-365nm之间，每隔1-10nm取一个值，再测量M*N矩阵阵列紫外探测器的输出响应，找到M个光电传感器对应的每个最大输出矩阵点Fi1、Fi2、…、FiM，则矩阵点Fi1、Fi2、…、FiM对应的波长即为Ei(i=1、2、…、N)。