[发明专利]彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池有效

申请号：	202010894037.9	申请日：	2020-08-31
公开（公告）号：	CN112038422B	公开（公告）日：	2022-05-27
发明（设计）人：	罗西佳;梅晓东;符黎明	申请（专利权）人：	常州时创能源股份有限公司
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;H01L31/18
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	213300 江苏***	国省代码：	江苏;32
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	彩色太阳能电池用叠层膜制备方法
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【权利要求书】：

1.一种彩色太阳能电池用叠层膜，其特征在于：所述叠层膜能够避免高温受热后爆膜开裂，包括四层介质膜，自下而上依次为第一氮化硅膜（1）、第一氮氧化硅膜（2）、第二氮化硅膜（3）和第二氮氧化硅膜（4）；所述叠层膜的厚度为185nm、折射率为1.6、颜色为红色；所述第一氮化硅膜（1）的厚度为30nm，所述第一氮氧化硅膜（2）的厚度为75nm，所述第二氮化硅膜（3）的厚度为40nm，所述第二氮氧化硅膜（4）的厚度为40nm，且所述叠层膜中每层膜的纵向成分和厚度均匀；

所述叠层膜的制备方法，将硅片送入PECVD炉管内，温度400℃、射频功率8000W下分层叠加沉积介质膜，具体包括如下步骤：

（1）通入流量比为1:4的SiH₄和NH₃气体，在硅片表面单面沉积厚度30nm的第一氮化硅膜；

（2）通入流量比为4:1:4的N₂O、SiH₄和NH₃气体，在第一氮化硅膜表面沉积厚度75nm的第一氮氧化硅膜；

（3）通入流量比为1:5的SiH₄和NH₃气体，在第一氮氧化硅膜表面沉积厚度40nm的第二氮化硅膜；

（4）通入流量比为6:1:6的N₂O、SiH₄和NH₃气体，在第二氮化硅膜表面沉积厚度40nm的第二氮氧化硅膜。

2.一种彩色太阳能电池，其特征在于：包括权利要求1所述的叠层膜。

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。

免登录下载普通用户下载升级VIP会员，免费下载

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州时创能源股份有限公司，未经常州时创能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】

本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010894037.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。