[发明专利]一种微流道散热器及其制备方法与应用有效
申请号: | 202010894841.7 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN112151478B | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 叶贵根;王志敏;李新建;张毅;薛世峰;周博 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(华东) |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/473;H01L21/48 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 王志坤 |
地址: | 266580 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微流道 散热器 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种微流道散热器,其特征在于,包括基底,在基底上平行分布多个肋片,两相邻肋片之间形成微流道,微流道内有多个针鳍结构;每个针鳍结构对应一个凹槽,任意两相邻凹槽交错;
所述针鳍结构在微流道中分布均匀,且每个微流道对应一排针鳍结构;
肋片由双程记忆合金材料制成,所述肋片在加热条件下产生凹槽。
2.如权利要求1所述的微流道散热器,其特征在于,所述基底上还有冷却剂入口与冷却剂出口,所述冷却剂入口与冷却剂出口分别分布于肋片端部两侧。
3.如权利要求1所述的微流道散热器,其特征在于,所述微流道散热器还包括盖板。
4.如权利要求1所述的微流道散热器,其特征在于,所述针鳍结构与肋片高度相同。
5.如权利要求1所述的微流道散热器,其特征在于,基底和针鳍结构为高导热材料。
6.如权利要求1所述的微流道散热器,其特征在于,所述针鳍结构横截面为梭形,所述梭形一端大一端小,小的一端位于流体流动方向的前端。
7.权利要求1-6任一项所述的微流道散热器的制备方法,其特征在于,在基底上通过蚀刻或精加工形成肋片和针鳍结构,对肋片物理开挖或精准蚀刻形成凹槽。
8.权利要求7所述的微流道散热器的制备方法,其特征在于,所述肋片单独制作,肋片经形状记忆训练后,将其复合于基底;通过蚀刻或精加工形成针鳍结构。
9.权利要求1-6任一项所述的微流道散热器或权利要求7所述的微流道散热器的制备方法制得的产品在微流道散热中的应用,其特征在于,将冷却剂通入微流道中,冷却剂在微流道中经过针鳍和凹槽时形成涡旋,所述涡流为螺旋状涡流。
10.如权利要求9所述的应用,其特征在于,每个凹槽内有一股螺旋涡流,在针鳍结构两侧有多股螺旋涡流。
11.权利要求1所述的微流道散热器或权利要求9所述的微流道散热器的制备方法制得的产品在微流道散热中的应用,其特征在于,当微流道散热器的温度升高时,肋片受热产生变形,在肋片上产生凹腔,将冷却剂通入微流道中,待微流道内冷流和热流充分混合换热,随着温度的降低肋片又恢复原来的形状。
12.权利要求1-6任一项所述的微流道散热器或权利要求7或8所述的微流道散热器的制备方法制得的产品在电子元件散热器中的应用。
13.权利要求1-6任一项所述的微流道散热器或权利要求7或8所述的微流道散热器的制备方法制得的产品在电子元件散热器中的应用,其特征在于,所述电子元件包括手机、电脑、计算器、台灯。
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