[发明专利]一种钛靶材和铜背板的焊接方法在审
| 申请号： | 202010896518.3 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112059349A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/20 | 分类号： | B23K1/20;B23K3/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 背板 焊接 方法 | ||
1.一种钛靶材和铜背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)对钛靶材和铜背板的焊接面依次进行喷砂和酸处理；
(2)然后将酸处理后的钛靶材和铜背板在焊接面添加焊料后进行钎焊接，得到钛靶材组件。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述喷砂采用石英砂进行。
3.如权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述喷砂处理后的粗糙度为60-100μm。
4.如权利要求1-3任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述酸处理为采用浓盐酸进行处理。
5.如权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，所述浓盐酸的质量浓度为30-36％。
6.如权利要求1-5任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(1)所述酸处理的温度为30-40℃；
优选地，所述酸处理的时间为10-20min。
7.如权利要求1-6所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述焊料为铟焊料。
8.如权利要求1-7任一项所述的焊接方法，其特征在于，步骤(2)所述钎焊接的温度为290-300℃；
优选地，步骤(2)所述钎焊接的时间为15-20min。
9.如权利要求1-8任一项所述的焊机方法，其特征在于，步骤(2)所述钎焊接结束后进行加压冷却，压力为10-20MPa；
优选地，所述加压冷却的时间为15-20min。
10.如权利要求1-9任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括如下步骤：
(1)对钛靶材和铜背板的焊接面依次进行喷砂和酸处理；喷砂处理后的粗糙度为60-100μm，酸处理为采用质量浓度为30-36％的浓盐酸在30-40℃下进行处理10-20min；
(2)然后将酸处理后的钛靶材和铜背板在焊接面添加焊料后进行钎焊接，得到钛靶材组件。
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