[发明专利]一种长工作距离的数字显微光学成像装置有效
申请号: | 202010899533.3 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN112099221B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 宋旸;刘梦涵;蔡华俊;施雨清 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/02;G02B7/02 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 陈鹏 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工作 距离 数字 显微 光学 成像 装置 | ||
本发明公开了一种长工作距离的数字显微光学成像装置,由显微镜成像光路和工业相机组成,属于检测设备技术领域,本发明利用光学设计软件ZEMAX进行光学成像效果的仿真,给出了工作距离400mm,视场范围直径4mm,工作波段为可见光,分辨率10μm的显微镜光学系统。该光学系统具有长工作距离和高分辨率成像等特点,可以应用于工业领域中非接触检测。
技术领域
本发明涉及光学成像技术,特别是一种长工作距离的数字显微光学成像装置。
背景技术
显微镜的应用十分的广泛,它不仅能够应用在生物学领域,在其他医学、天文学、材料学等科学领域也发挥着举足轻重的作用。正因为显微镜扮演着如此重要的角色,才使得科研领域的每一次革新都离不开它,所以显微镜就成了科学发展的重要标志,也成了检测领域及工业生产中得到了广泛的应用。
但当工件处于比较恶劣的环境下,显微镜需较长的工作距离上对被测工件表面进行高分辨率成像,以观察待测样的变化情况,例如对金属的热膨胀现象等进行观测。现有的显微成像系统一般物距很小,难以满足长工作距离成像的要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种长工作距离的数字显微光学成像装置,解决工业动态测量中存在的显微镜工作距离短、分辨率低等问题。
实现本发明目的的技术解决方案为:一种长工作距离的数字显微光学成像装置,包括光学系统,位于所述光学系统出瞳的CCD组件,以及连接光学系统和CCD组件的镜筒装置;
所示光学系统包括双凹透镜、第一双胶合凸透镜以及第二双胶合凸透镜;
所述第一双胶合透镜物面为负透镜面,像面为正透镜面;
所述第二双胶合透镜物面为负透镜面,像面为正透镜面;
所述镜筒装置中,CCD与相机套筒相连接,并通过螺纹圈连接CCD组件与镜筒,双凹透镜、第一双胶合凸透镜以及第二双胶合凸透镜一起放置于镜筒中,并通过固定位置挡片固定透镜。
与现有技术相比,本发明的显著优点为:本光学系统为了实现成像的长工作距离环境和图像分辨率,通过调整各个透镜的选型和光学间隔,以满足成像分辨率1292×964的工业相机的搭配要求;该光学系统具有长工作距离和高分辨率成像等特点,可以应用于工业领域中非接触检测。
附图说明
图1是长工作距离显微光学系统的光路图。
图2是长工作距离显微光学系统的点列图。
图3是长工作距离显微光学系统的波像差图。
图4是长工作距离显微光学系统机械结构图。
图5是光学系统机械结构横切截面图。
图6是分辨率板的100线宽位置的4个条纹图案的图像采集结果示意图。
具体实施方式
一种长工作距离的数字显微光学成像装置,包括光学系统,位于所述光学系统出瞳的CCD组件,以及连接光学系统和CCD组件的镜筒装置;
所示光学系统包括双凹透镜、第一双胶合凸透镜以及第二双胶合凸透镜;
所述第一双胶合透镜物面为负透镜面,像面为正透镜面;
所述第二双胶合透镜物面为负透镜面,像面为正透镜面;
所述镜筒装置中,CCD与相机套筒相连接,并通过螺纹圈连接CCD组件与镜筒,双凹透镜、第一双胶合凸透镜以及第二双胶合凸透镜一起放置于镜筒中,并通过固定位置挡片固定透镜。
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