[发明专利]一种废剥离液的提纯液及其提纯方法和应用

说明书

本发明涉及一种废剥离液，具体涉及一种废剥离液的提纯液及其提纯方法和应用。纯化方法中，将废剥离液经第一次滤除杂；置于变化的磁场区域中进行分段离心过滤，分别为：50～100转/min下离心2～5min、100～200转/min下离心2～5min、200～300转/min下离心4～8min、500～800转/min下离心4～8min；将收集液经过精馏后得到含有质量浓度为90％以上的N‑甲基甲酰胺和二乙二醇单甲醚的提纯液。提纯液在电子元件中的应用，或在燃料的应用。本发明提纯液中NMF的含量在49％以上，MDG的含量在50％以上，铁的含量在1ppb以下，其它金属离子均在0.5ppb以下。

技术领域

本发明涉及一种废剥离液，具体涉及一种废剥离液的提纯液及其提纯方法和应用。

背景技术

剥离液在电子半导体元件或液晶显示元件等发明中大量使用，并由此产生了大量的废剥离液，现有技术中，对于废剥离液纯化后不能达到电子元件的低颗粒等纯度的标准，导致纯化后的废剥离液无法继续用于电子半导体元件中，炸成废剥离液的回收利用度降低。由于在剥离工序中使用大量的剥离液，并且剥离液价格高，由此增加了电子半导体元件或液晶显示元件的生产成本。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种低成本的、废剥离液的提纯方法，提纯后的剥离液颗粒物含量低。

相应的，本发明还提供一种废剥离液的提纯液；

相应的，本发明还提供一种废剥离液的提纯液在电子元件中的应用。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种废剥离液的提纯方法，其包括以下依次进行的步骤：

S1将废剥离液经第一次过滤除杂；

S2第一次过滤除杂的废剥离液置于变化的磁场区域中旋转活动，在旋转活动中通过过滤或离心去除小颗粒物，得到收集液；

S3将收集液经过精馏后得到含有质量浓度为90％以上的N-甲基甲酰胺和二乙二醇单甲醚的提纯液。

进一步的，步骤S2中，第一次过滤除杂的废剥离液置于变化的磁场区域中进行分段离心过滤，依次为：50～100转/min下离心2～5min、100～200转/min下离心2～5min、200～300转/min下离心4～8min、500～800转/min下离心4～8min得到收集液。

进一步的，第一次滤除杂的具体步骤为：将废剥离液按流量为1～1.5m³/h，在23～28℃、0.1～0.2MPA下经过滤器过滤掉固形物，得到初滤液；

进一步的，精馏包括第一级精馏和第二级精馏，

第一级精馏：将所得到的收集液在130～140℃和13～18kpa下进入第一级精馏塔，第一级精馏塔顶部的温度为45～60℃，相应压力为12.5～14kpa；第一级精馏塔底部温度为115～125℃，相应压力为14～17kPa；第一级精馏后在塔釜中得到第一级精馏液；

第二级精馏：将所得到的第一级精馏液在115～125℃和14～17kPa下进入第二级精馏塔，第二级精馏塔顶部的温度为120～130℃，相应压力为8～12kpa；第二级精馏塔底部温度为125～140℃，相应压力为8～12kpa；第二级精馏后在塔顶得到第二级气体；将第二级气体冷凝至108～120℃的第二冷凝液。

进一步的，第一级精馏后在塔顶得到第一级气体，并将所得到的第一级气体冷凝至30℃后，得到第一级冷凝液；将第一冷凝液经回流至第一级精馏塔的塔顶继续第一级精馏的步骤。