[发明专利]用以检测外部端子处的测试探测接触的方法和设备

说明书

本申请案涉及检测外部端子处的测试探测接触的方法和设备。一种实例设备包含：耦合到输入端子的输入缓冲器，其中所述输入缓冲器经配置以基于在所述输入端子处接收到的电压提供输入信号；测试端子，其经配置以接收探测信号；以及电力供应端子，其经配置以接收外部供应电压。所述实例设备进一步包含测试逻辑电路，其经配置以响应于所述探测信号指示测试且外部供应电压检测信号具有指示所述外部供应电压的检测的值，起始探测接触检测测试。在所述起始探测接触检测测试期间，所述测试逻辑电路经配置以接收所述输入信号，且提供具有基于所述输入信号的值的输出信号。

技术领域

本公开涉及半导体装置，且明确地说，涉及检测外部端子处的测试探测接触的方法和设备。

背景技术

在生产期间，多个半导体装置(例如受测试的装置或单元(DUT))可连接到测试设置，并行于接收来自测试仪的常见输入信号来进行高度并行的测试。所述测试设置可涉及定位相应的一组探针，以电接触每一DUT的相应端子或引脚。归因于半导体装置的端子或引脚的大小，所述探针中的一或多者可能未与目标端子或引脚对准，使得探针与目标端子或引脚之间存在断路。因此，当测试具有未对准探针的特定DUT时，有缺陷的测试设置可致使测试仪不必要地不通过所述DUT。不必要地不通过DUT可能降低产量和生产效率，并且增加生产成本。

发明内容

本公开的一方面提供一种设备，其中所述设备包括：输入缓冲器，其耦合到输入端子，其中所述输入缓冲器经配置以基于在所述输入端子处接收到的电压提供输入信号；测试端子，其经配置以接收探测信号；电力供应端子，其经配置以接收外部供应电压；以及测试逻辑电路，其经配置以响应于所述探测信号指示测试且外部供应电压检测信号具有指示所述外部供应电压的检测的值，起始探测接触检测测试，其中在所述起始探测接触检测测试期间，所述测试逻辑电路经配置以接收所述输入信号，且提供具有基于所述输入信号的值的输出信号。

本公开的另一方面提供一种方法，其中所述方法包括：在半导体装置的测试端子处接收探测信号；接收外部供应电压；从所述半导体装置的耦合到所述半导体装置的输入端子的输入缓冲器接收输入信号，其中所述输入信号是基于在所述输入端子处接收到的电压；以及响应于所述探测信号指示测试且外部供应电压检测信号具有指示所述外部供应电压的检测的值，提供具有基于所述输入信号的值的输出信号。

附图说明

图1是根据本公开的实施例的半导体装置的示意性框图。

图2是根据本公开的实施例的半导体装置的测试电路的逻辑图。

图3是根据本公开的实施例的描绘探测接触检测测试的操作的示范性时序图的图解。

图4描绘根据本公开的实施例的多个受测试装置的并行测试设置系统的功能框图。

图5是说明根据本公开的实施例的用以执行探测接触检测测试的方法的流程图。

具体实施方式

本文所述的实例包含对正在高度并行配置中测试的半导体装置执行探测接触检测测试。在生产期间，许多半导体装置(例如受测试的装置或单元(DUT))可连接到测试设置，以接收来自测试仪的常见输入信号，以便彼此并行测试。测试设置可取决于维持与每一DUT的端子或引脚的充分电接触的探针。因此，DUT可包含测试逻辑电路，其经配置以执行探测接触检测测试，以检验每一端子或引脚与来自测试仪的相应探针电接触。探测接触检测测试可避免归因于有缺陷的测试设置而不必要地不通过DUT。测试逻辑电路可经配置以基于探测信号和外部供应电压的值来促进探测接触检测测试。作为探测接触检测测试的一部分，测试逻辑可配置耦合到相应输入端的输入缓冲器来进行单端操作。测试逻辑还可将输入缓冲器的输出耦合到逻辑门。所述逻辑门可对输入缓冲器的输出执行逻辑运算，以驱动输出信号。所述输出信号的值可指示在耦合到输入缓冲器的输入端中的一或多者处，是否已接收到电压。可将输出信号提供到测试仪，以提供关于探针与输入端子之间是否存在任何断路的指示。