[发明专利]一种蒸镀坩埚

说明书

本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。本发明采用面源蒸镀的方式，利用分散组件实现气体分子的均匀扩散，达到提高有机材料利用率的目的。

技术领域

本发明涉及显示屏制造领域，尤其是指一种蒸镀坩埚。

背景技术

有机发光二极管(OLED)具有对比度更高、色域广、视角广、低功耗、体积更小等优点，在曲面屏、可穿戴式显示等领域具有更广泛的应用及更显著的优势，因此在显示技术中备受关注。

OLED显示屏有机发光层的主要工艺流程为将装在坩埚内的有机材料进行加热升华成气体分子，进而附着在TFT基板的指定区域上；上述制作过程中，有机发光层的附着状态、均一性皆影响着OLED屏的显示效果。

现有蒸镀源分点源和线源两种，采用点源蒸镀时，TFT基板会在蒸镀源上方旋转，以达到材料尽可能均一附着的效果，而采用线源蒸镀时，线源坩埚会在TFT基板下来回移动以将材料镀满整个TFT基板，这两种方式都是通过基板或者蒸镀源移动的方式来蒸镀，这将会影响到有机材料气体氛围，导致镀膜均一性不佳；并且点源材料利用率在5％左右，线源材料利用率约20％，两种设计均存在材料利用率低，材料存在严重浪费的现象；而有机材料价格昂贵，在目前OLED屏的生产成本上材料支出占了较高比例。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种蒸镀坩埚，提高有机材料利用率。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；

所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；

所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；

所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。

本发明的有益效果在于：本发明在容置腔内设置加热组件，用于对有机材料进行均匀加热，使有机材料升华；设置有分散组件，用于使有机材料升华后的气体分子在分散组件内均匀扩散；设置盖板，用于使经过分散组件均匀扩散后的气体分子经过盖板上的出料孔，均匀附着于基板的一侧；而容置腔的开口与基板的尺寸相匹配，实现对基板的面源蒸镀，减少了有机材料的浪费，并且改善基板表面有机膜的均一性。

附图说明

图1为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的结构示意图；

图2为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的爆炸图；

图3为图2的正视图；

图4为本发明实施例的一种蒸镀坩埚的剖视图。

标号说明：

1、坩埚本体；

2、加热组件；21、第一加热板；22、第二加热板；

3、盖板；31、出料孔；

4、分散组件；41、第一分散板；42、第二分散板；

5、基板；6、容置腔；61、开口；7、流通腔；8、加热空间；9、分散腔。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1-图4，一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；