[发明专利]基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统

权利要求书

1.基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，包括：宽光谱光源、耦合透镜组(2)、半反半透分光镜(3)、聚焦镜组(4)、光阑(6)、光谱测量系统(7)和光谱探测器(8)；所述宽光谱光源、耦合透镜组(2)和半反半透分光镜(3)顺次设置，被测元件(5)、聚焦镜组(4)、半反半透分光镜(3)、光阑(6)、光谱测量系统(7)和光谱探测器(8)顺次设置，被测元件(5)和光阑(6)均位于聚焦镜组(4)的焦点上；

所述宽光谱光源的出射光依次经耦合透镜组(2)汇聚、经半反半透分光镜(3)反射、经聚焦镜组(4)透射、经被测元件(5)反射、经聚焦镜组(4)透射、经半反半透分光镜(3)透射、穿过光阑(6)的通光孔、经光谱测量系统(7)测量光谱后入射到光谱探测器(8)；经半反半透分光镜(3)反射进入到聚焦镜组(4)的光束经聚焦镜组(4)透射得到不同颜色的聚焦点，所述聚焦点均位于聚焦镜组(4)光轴上。

2.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述宽光谱光源的出射光与半反半透分光镜(3)的分光面成45°。

3.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述半反半透分光镜(3)的分光面位于耦合透镜组(2)的焦点上。

4.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述光谱测量系统(7)为全反射光栅式分光测量系统。

5.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述聚焦镜组(4)包括为凸凹凸结构第三双胶合透镜、为凸凹凸结构的第四双胶合透镜和为凸凹凹结构的第五双胶合透镜，半反半透分光镜(3)、第三双胶合透镜、第四双胶合透镜、第五双胶合透镜和被测元件(5)顺次设置。

6.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述耦合透镜组(2)包括为凸凹凸结构的第一双胶合透镜和为凸凹凸结构的第二双胶合透镜，宽光谱光源、第一双胶合透镜、第二双胶合透镜和半反半透分光镜(3)顺次设置。

7.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，所述宽光谱光源采用白光光源(1)。

8.如权利要求1所述的基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统，其特征在于，依次经所述耦合透镜组(2)汇聚和半反半透分光镜(3)透射的光束不进入光谱测量系统(7)和光谱探测器(8)。