[发明专利]一种单晶硅片倒角机上的水槽

说明书

本发明公开了一种单晶硅片倒角机上的水槽，包括矩形的水槽，水槽的下端成型有半圆形的底壳，底壳前端的外壁上成型有圆弧形的排水口，排水口下侧的底壳侧边弯折成型有斜置的导流板；所述的底壳内插接有覆盖排水口的圆弧形的盖板,盖板的上、下侧边分别抵靠在底壳的弧形内壁上，盖板的两端成型有圆形的端板，端板抵靠在底壳两侧的内壁上并成型有支轴，支轴插接在底壳上；所述支轴的一端伸出底壳插套固定有拨盘，拨盘上成型有圆弧形的导向槽，导向槽内插接有内螺纹柱套，内螺纹柱套焊接固定在底壳的外壁上，内螺纹柱套内螺接有紧固螺栓，紧固螺栓的头部压靠在拨盘上。

技术领域

本发明涉及半导体倒角机的技术领域，更具体地说涉及一种单晶硅片倒角机上的水槽。

背景技术

目前人们常说的半导体一般指硅片，硅片完成加工生产后的成品一般叫圆晶片。而硅片的来源来自于石英砂，其单晶硅片的生产过程为，单拉晶、磨外圈、切片、退火、倒角、磨削或研磨和CMP。单晶硅片需要进行倒角：将退火后的硅片进行修磨呈圆弧形，以防止硅片边缘破裂以及晶格缺陷产生，并增加磊晶层及光阻层的平面度。在倒角过程中，需要对刀具切割硅片外圈处进行喷乳化液，即能降温润滑，并可以冲去残渣；

但倒角后的硅片还是会附带残渣，有些倒角机提升利用可竖直升降并呈循环的链带带动一个个可移动的水槽，完成倒角的放入链带上端的水槽内，然后移动到链带的下端，将水槽内的硅片取出，就可以实现硅片表面的清洗，同时当水槽移动到链带的另一侧时，水槽会发生翻转，水槽翻转可以将附带残渣的水倒入下侧设立的水池内，进而残渣会逐步积聚在水池的底部，现有倒角机上的水池为一个矩形的槽体，槽体固定在倒角机上，同时槽体设有过滤循环用水结构，即槽体需要为链带上随行水槽供水，当残渣累积过多时，需要进行清理，不然影响随行水槽内的水质，但现有槽体内的残渣清理工作较为麻烦。

发明内容

本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供了一种单晶硅片倒角机上的水槽，其设计了一种水槽，方便排水和清理累积在水槽底部的切屑残渣。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：

一种单晶硅片倒角机上的水槽，包括矩形的水槽，水槽的下端成型有半圆形的底壳，底壳前端的外壁上成型有圆弧形的排水口，排水口下侧的底壳侧边弯折成型有斜置的导流板；所述的底壳内插接有覆盖排水口的圆弧形的盖板,盖板的上、下侧边分别抵靠在底壳的弧形内壁上，盖板的两端成型有圆形的端板，端板抵靠在底壳两侧的内壁上并成型有支轴，支轴插接在底壳上；所述支轴的一端伸出底壳插套固定有拨盘，拨盘上成型有圆弧形的导向槽，导向槽内插接有内螺纹柱套，内螺纹柱套焊接固定在底壳的外壁上，内螺纹柱套内螺接有紧固螺栓，紧固螺栓的头部压靠在拨盘上。

优选的，所述拨盘的正上方设有补水管，补水管插接固定在水槽上端的侧壁上。

优选的，所述导流板的两侧固定有挡水板，挡水板上成型有圆弧形的上侧边，挡水板的上侧边抵靠在排水口两侧边。

优选的，所述的水槽上插套固定有若干个矩形的固定套，固定套的后端面上固定有若干竖直的管状支架，管状支架上成型有若干个挂孔，挂孔由上部的条形槽和下部的圆孔组成。

优选的，所述盖板外壁的圆弧半径等于底壳内壁的圆弧半径，盖板圆弧的中心轴线、盖板的中心轴线和支轴的中心轴线在同一直线上，拨盘上导向槽的圆弧圆心位于支轴的中心轴线上。

优选的，所述盖板的上、下侧边成型有三角形的刮条，刮条抵靠在底壳的圆弧内壁上。

优选的，所述盖板一侧的端板上成型有增厚板，增厚板上端的外壁上成型有沉槽，所述增厚板的内侧壁上抵靠有隔板，隔板的两侧边固定在水槽内壁上，隔板的下端成型有若干与沉槽相连通的过滤孔，隔板与水槽的内壁围设成型有取水槽，取水槽分布在增厚板的正上方。

优选的，所述隔板的下端面呈水平，端板的中心轴线位于隔板的下端面内。