[发明专利]一种太阳能电池印刷网版及其印刷工艺

权利要求书

1.一种太阳能电池印刷网版，其特征在于，包括：

至少9条平行排布的主栅线(1)，与所述主栅线(1)垂直的细栅线，每条所述主栅线(1)与所述细栅线相交处(4)具有细栅渐变线，所述主栅线(1)为分段式结构，每段所述主栅线(1)上有6个焊盘(2)，外侧两条所述主栅线(1)上的两端共设置有4个定位点(3)，所述细栅线上对应定位点的位置设置有基准点。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池印刷网版，其特征在于，每条所述主栅线(1)的宽度为0.05-0.11mm，相邻两条所述主栅线(1)间距为16-22mm，所述主栅线(1)两端为鱼叉状结构，所述鱼叉状结构的长度为4-8mm，鱼叉内侧间距为1-1.8mm，鱼叉宽度为0.05-0.1mm。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池印刷网版，其特征在于，所述细栅线的线宽为0.015-0.080mm，长度0.8-2.0mm，相邻所述细栅线的间距0.05-2mm，总栅线数目100-150。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池印刷网版，其特征在于，所述定位点(3)为直径0.3-0.8mm的圆，且所述定位点(3)的直径大于所述基准点的直径。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池印刷网版，其特征在于，所述焊盘(2)为矩形，长度为0.3-1.2mm，宽度为0.5-1.0mm。

6.一种太阳能电池印刷网版的印刷工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)制绒：选用166x166mm单晶硅片，其厚度为180±20μm；对硅片清洗制绒，去除原片本身的损失层及杂质，形成绒面层；其中减薄量控制在0.48～0.58g之间。

2)扩散：把上述的单晶硅片置入扩散设备中，进行扩散制结，形成PN结层，其表面方阻范围在100～150Ω之间。

3)激光SE：在上述扩散好的单晶硅片PN结层表面进行激光推进，推进深度0.05μm，推进形成的槽线长为155.25mm，线宽80～120μm。

4)热氧：上述形成槽线的单晶片进行氧化修复，把激光损伤的氧化层部分在经过一次优选低温600℃退火处理，其中氧气流量为3000sccm，氮气流量为4000sccm，时间为25min；接着在进行一次优选高温700℃热氧处理，其中氧气流量为3000sccm，时间为20min，在这种炉管环境下完成修复。

5)刻蚀：对上述氧化处理的单晶硅片进行刻蚀清洗，去除边缘的磷硅玻璃和进行背面抛光；

6)对上述处理后的单晶硅片背面即P型基底的另一面进行AL₂O₃原子沉积，形成背钝化；

7)正、背面镀膜：对上述处理后的单晶硅片分别进行正面镀膜和背面镀膜，形成一种SixNy减反射膜，正面膜厚范围在80±2nm之间，折射率为2.10±0.5；背面膜厚范围在150±30nm之间；

8)印刷：对上述镀好膜的单晶片正面即SixNy减反射膜表面印刷银浆，印刷过程使用的网版图形细栅线与SE推进层形成的槽方向是平行的，正面图形单次印刷工艺。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池印刷网版的印刷工艺，其特征在于，所述印刷过程为：使用正银浆料进行单次印刷，主、细栅线一次印刷完成。

8.根据权利要求6所述的一种太阳能电池印刷网版的印刷工艺，其特征在于，步骤5)与6)之间还包括：对上述刻蚀完成后的单晶片再进行一次热氧处理，在修复刻蚀过程中，减少对正面氧化层的损伤，同时提升硅片自身的钝化效果。

9.根据权利要求6所述的一种太阳能电池印刷网版的印刷工艺，其特征在于，对上述印刷完的电池，在进行烧结、电注入处理。