[发明专利]压力疏通装置在审
申请号: | 202010907089.5 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN114112372A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 徐官基;白国斌;王桂磊;高建峰;丁云凌;崔恒玮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司 |
主分类号: | G01M13/003 | 分类号: | G01M13/003 |
代理公司: | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人: | 赵永刚 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力 疏通 装置 | ||
本发明提供一种压力疏通装置,包括:输料主体和标识件;输料主体开设有通料孔、储放腔和观察口,储放腔用于存放标识件,储放腔与通料孔连通,储放腔与观察口连通,标识件通过观察口与输料主体滑移连接;在通过通料孔传送物料时,用于传送物料的压强带动标识件通过观察口伸出输料主体。本发明能够快速判断出通料孔是否导通。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种压力疏通装置。
背景技术
随着生产的快速发展,在用于传送物料的通道出现问题时,需要检测每个通料阀是否能够正常通料。
特别是在半导体技术领域对气阀进行检测的过程中,通常需要在保证气阀处于打开的情况下,通过气阀发出的气体的声音,或是通过检测人员直接将身体放置在气阀的出气口,以判断气阀是否导通。但是该类方法检测效率低。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供的压力疏通装置,通过设置标识件能够快速判断出通料孔是否导通。
本发明提供一种压力疏通装置,包括:输料主体和标识件;
所述输料主体开设有通料孔、储放腔和观察口,所述储放腔用于存放所述标识件,所述储放腔与所述通料孔连通,所述储放腔与所述观察口连通,所述标识件通过所述观察口与所述输料主体滑移连接;
在通过所述通料孔传送物料时,用于传送物料的压强带动所述标识件通过所述观察口伸出所述输料主体。
可选地,所述输料主体还开设有连通孔,所述储放腔通过所述连通孔与所述通料孔连通。
可选地,所述压力疏通装置还包括:顶压塞;
所述顶压塞位于所述标识件朝向第一方向的一侧,所述顶压塞与所述标识件固定连接,所述连通孔位于顶压塞朝向所述第一方向的一侧。
可选地,所述顶压塞的横截面与储放腔的横截面适配。
可选地,所述顶压塞朝向第二方向的侧面固定设置有凸起,所述第一方向与所述第二方向相反。
可选地,所述凸起和所述顶压塞的材料均为橡胶材料。
可选地,所述凸起环绕在所述标识件的周侧。
可选地,所述压力疏通装置还包括:助力件;
所述助力件位于所述顶压塞朝向第二方向的一侧;
在所述通料孔停止传送物料时,所述助力件用于带动所述标识件移入所述通料主体内。
可选地,所述助力件为压缩弹簧,所述压缩弹簧位于所述储放腔内。
可选地,所述观察口的外侧固定设置有护罩,所述护罩的材料为透明材料。
本发明实施例提供的压力疏通装置能够利用传送物料的压强带动标识件移动,从而使得标识件的一端能够通过观察口伸出输料主体,进而便于检测人员判断通料孔是否导通。
附图说明
图1为本申请一实施例的压力疏通装置在标识件的一端伸出输料主体的状态下的剖视图;
图2为本申请一实施例的压力疏通装置在标识件的一端未伸出输料主体的状态下的剖视图。
附图标记
1、输料主体;11、通料孔;12、储放腔;13、观察口;14、连通孔;2、标识件;3、助力件;4、顶压塞;5、凸起;6、护罩。
具体实施方式
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