[发明专利]气压传感器及系统

权利要求书

1.一种气压传感器，其特征在于，所述气压传感器包括：壳体、激光器、探测器、感压膜和金属层；所述壳体为一端开口的腔体，所述壳体的开口处设置有所述感压膜，所述感压膜和所述壳体形成密封空间，所述密封空间内填充有光增益气体，所述密封空间内设置有所述激光器、所述探测器和所述金属层，所述激光器和所述探测器均设置在所述腔体远离所述开口的一端，所述感压膜靠近所述腔体的一侧设置有所述金属层，所述金属膜为金属平面上周期性设置多个金属梁，所述金属膜的金属平面紧贴所述感压膜设置，多个所述金属梁设置在所述金属膜远离所述感压膜的一侧。

2.根据权利要求1所述的气压传感器，其特征在于，多个所述金属梁相互平行设置。

3.根据权利要求2所述的气压传感器，其特征在于，所述感压膜的材料为柔性材料。

4.根据权利要求3所述的气压传感器，其特征在于，所述气压传感器还包括二维材料层，所述二维材料层设置在所述金属层远离所述感压膜的一侧。

5.根据权利要求4所述的气压传感器，其特征在于，所述二维材料层的材料为石墨烯和二硫化钼中至少一种。

6.根据权利要求1所述的气压传感器，其特征在于，所述气压传感器还包括聚焦透镜，所述聚焦透镜设置在所述金属层和所述激光器之间。

7.根据权利要求6所述的气压传感器，其特征在于，所述聚焦透镜为透镜组。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的气压传感器，其特征在于，所述气压传感器还包括防透光膜，所述防透光膜设置在所述感压膜和所述金属层之间。

9.根据权利要求1-7任意一项所述的气压传感器，其特征在于，所述气压传感器还包括数据传输器，所述数据传输器设置在所述壳体远离所述感压膜的一侧，用于将所述探测器探测得到的反射光谱信号输出。

10.一种气压传感系统，其特征在于，所述气压传感系统包括：计算机和权利要求1-9任意一项所述的气压传感器，所述计算机用于接收所述气压传感器的反射光谱信号，并通过反射光谱信号与待测气压的对应关系，得到待测气压。