[发明专利]一种单晶炉的组合套筒及单晶炉在审
| 申请号： | 202010909017.4 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN114197034A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;沈福哲 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 组合 套筒 | ||
1.一种单晶炉的组合套筒，其特征在于，包括：内筒、外筒、环形底盘和套管，所述内筒呈倒锥形，所述内筒的上端与所述外筒的上端连接，所述外筒的下端与所述环形底盘的外缘部密封连接，所述内筒的下端与所述环形底盘的上表面固定连接，所述套管穿设固定于所述环形底盘的环口内。
2.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述内筒和所述外筒的材质为石墨材料。
3.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述环形底盘的材质为金属钼。
4.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述套管的材质为石英材质。
5.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述内筒、所述外筒和所述环形底盘之间围合形成的空腔内设置有第一填充体和第二填充体，所述第一填充体位于所述第二填充体的上方，所述第一填充体采用导热材料制成，所述第二填充体采用隔热材料制成。
6.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述套管呈空心圆柱状，所述套管的外壁上形成有第一凸环，所述第一凸环密封搭设于所述环形底盘的上表面。
7.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述套管的下端部伸出于所述环形底盘的底部，且所述下端部设有水平向外延伸的第二凸环。
8.根据权利要求1所述的组合套筒，其特征在于，所述环形底盘的外缘部形成有第一螺纹，所述外筒的下端形成有第二螺纹，所述环形底盘和所述外筒通过所述第一螺纹和所述第二螺纹实现螺纹配合连接。
9.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的组合套筒。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司，未经西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010909017.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
