[发明专利]一种基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶

权利要求书

1.一种基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：按质量百分比计，包括5-59wt％高折射率硫醇化合物A、40-90wt％高折射率丙烯酸酯类单体B、0.01-1wt％双光子吸收剂C和0.1-5％光引发剂D等。

2.根据权利要求1所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述高折射率硫醇化合物A为以下A-1、A-2、A-3、A-4、A-5、A-6等化合物中的一种或多种的组合物：

3.根据权利要求1所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述高折射率丙烯酸酯类单体B为以下B-1、B-2、B-3、B-4、B-5、B-6化合物中的一种或多种的组合物：

其中，m+n＝4～30中的任意自然数，R1、R2、R3、R4、R5为氢原子或甲基。

4.根据权利要求1所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述双光子吸收剂C为(2E,5E)-2,5-双[(4-(二乙氨基)苯基)亚甲基]环戊酮。

5.根据权利要求1所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述光引发剂D由2-异丙基硫杂蒽酮、9-苯基吖啶、樟脑琨、二(2-氯苯基)-4,4'-二咪唑中的、7-二乙氨基-3-噻吩甲酰基香豆素、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、对二甲氨基苯甲酸异辛酯、N-苯基甘氨酸等中的一种或多种按任意配比组成。

6.根据权利要求1所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于，通过以下步骤制备得到：按照比例，在黄光室内将双光子吸收剂C和光引发剂D溶解于溶剂E中；按比例加入高折射率硫醇化合物A和高折射率丙烯酸酯类单体B，混合均匀；用孔径为0.25微米的滤膜进行过滤除去杂质后得到高折射率光点击聚合飞秒激光光刻胶。

7.根据权利要求6所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述溶剂E的添加量占双光子吸收剂C和光引发剂D总量的50-200wt％。

8.根据权利要求6所述基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，其特征在于：所述溶剂E由乙醇、异丙醇、二氯甲烷、甲苯、丙二醇甲醚醋酸酯、γ-丁内酯、二(乙二醇)二乙醚、甲基异丁酮、乙二醇一甲醚、2-乙氧基乙醇、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、丙酮、丁酮等中的一种或多种按任意配比组成。