[发明专利]一种搬运机器人

说明书

本发明公开了一种搬运机器人，其结构包括传输带、电机、支臂、夹片手、转动轴、机器人主机，传输带随着电机输出端同步转动，上移块往上进行顶起，抵触板伸出托板轴内部，对晶圆的中心处进行抵触支撑，降低对晶圆的摩擦力，通过支臂对晶圆进行搬运，搬运到检测机上通过电磁块对吸附块进行吸附，通过倾斜块使得滑动轴呈倾斜角度，使得晶圆在限位抵触框内部呈倾斜角度下落到检测机上，防止较薄的晶圆断裂，气流通过传输管传输到固定环内部，固定环内部的气囊膜进行鼓起，通过传导管的传导，确保每个固定环内部的气囊膜均匀的鼓起，从而对晶圆的外沿底部进行承托，减少晶圆的表面产生的摩擦力，降低对晶圆表面造成的磨损。

技术领域

本发明涉及机器人领域，更具体地说，尤其是涉及到一种搬运机器人。

背景技术

将多硅晶融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆，晶圆在成生产的过程中，需要使用到搬运机器人将晶圆搬运到检测机上进行检测，但是搬运机器人在对晶圆的进行搬运的过程中，使用搬运机器人上的夹具手对晶圆进行装夹，将晶圆固定在夹具手上再进行搬运转移，由于晶圆的厚度很薄并且具有脆硬特性，夹具手在对晶圆进行装夹的过程中，与晶圆的表面产生的摩擦力较大，容易对晶圆的表面造成磨损，同时搬运到检测点上直接将晶圆进行下放，晶圆的底面与检测机上存在一定的间隙高度，晶圆下落时与检测机产生一个下落力度，容易造成较薄的晶圆断裂。

发明内容

本发明实现技术目的所采用的技术方案是：该一种搬运机器人，其结构包括传输带、电机、支臂、夹片手、转动轴、机器人主机，所述传输带随着电机输出端同步转动，所述电机安装在支臂顶部，并且支臂前端设有夹片手，所述支臂底部与转动轴顶部嵌固安装，所述转动轴安装在机器人主机顶部，所述夹片手包括支板、驱动轴、限位抵触框、承托机构、外沿抵触机构，所述支板通过驱动轴与支臂前端轴连接，所述支板下端与限位抵触框相焊接并且为一体化结构，所述承托机构安装在限位抵触框内部，并且承托机构下端安装在外沿抵触机构表面，所述外沿抵触机构上端与限位抵触框下端相焊接限位抵触框下端呈弧形结构，所述外沿抵触机构共设有两个，并且呈左右对称安装在限位抵触框下端。

作为本发明的进一步改进，所述承托机构包括固定壳、电磁块、弹簧、吸附块、推杆、中轴机构、连动杆、滑动轨道，所述固定壳安装在限位抵触框内部，并且电磁块固定安装在固定壳内部，所述电磁块下端与弹簧上端相固定，并且弹簧下端与吸附块外侧相固定，所述吸附块设在推杆顶部，所述推杆下端与中轴机构相连接，所述中轴机构外侧下端与连动杆顶部相固定，所述连动杆下端与滑动轨道滑动连接，并且滑动轨道设在外沿抵触机构表面内部，所述电磁块中部设有上凹弧形凹槽，并且吸附块采用铁材质，呈圆块型结构，电磁块的弧形凹槽与吸附块的直径相匹配，所述弹簧共设有两个，并且采用橡胶材质，具有一定的回弹性和绝缘性。

作为本发明的进一步改进，所述中轴机构包括上顶机构、固定弧杆、滑动杆，所述推杆下端采用间隙配合安装在上顶机构内部，并且推杆外侧设有固定弧杆，所述固定弧杆与滑动杆相焊接，所述滑动杆滑动安装在推杆内部，所述固定弧杆共设有三个，分别设在推杆和两个连动杆形成的三个夹角处。

作为本发明的进一步改进，所述上顶机构包括托板轴、推块、上移块、抵触板，所述推杆下端采用间隙配合安装在托板轴内部，并且推杆与推块相焊接，所述推块上表面与上移块底部相抵触，所述上移块上端设有抵触板，并且抵触板采用间隙配合安装在托板轴上端中端，所述推块呈左端低右端高的倾斜块结构，并且上移块呈半球体结构，所述抵触板顶部呈弧形结构，并且抵触板顶部还设有弧形的海绵垫。

作为本发明的进一步改进，所述滑动轨道包括滑动轴、滑轨、倾斜块，所述滑轨设在外沿抵触机构表面内部，所述滑动轴滑动安装在滑轨内部，所述滑动轴与连动杆下端相固定，所述倾斜块设在滑轨内部上端，所述倾斜块为从下往上增高的倾斜结构，使得滑动轴滑动到滑轨末端时进行倾斜，使得对晶圆支撑呈倾斜角度。