[发明专利]一种用于质谱检测的真空高压运动平台

说明书

本发明提供了一种用于质谱检测的真空高压运动平台，包括腔体、高压传导部件、样品靶板拖、xy运动机构，所述腔体内部底板上设有XY运动机构、所述高压传导部件一端与腔体连接，另一端与样品靶板拖连接，所述样品靶板拖连接在xy运动机构上。本发明有益效果：在真空环境下实现低成本的高精度二维运动，实现高压导入同时与运动平台绝缘，进一步降低了飞行时间质谱仪的生产成本，同时可适用于其他小型在真空下运动的设备。

技术领域

本发明属于质谱检测技术领域，尤其是涉及一种用于质谱检测的真空高压运动平台。

背景技术

在基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪的检测分析过程中，通用的技术方案为激光器输出的激发光源位置不变，通过样品靶板的二维移动实现样品的切换，同时需要为样品靶板提供15000V以上的高压。多数厂家使用高精度的直线电机实现其运动，价格昂贵成本高，维修拆卸繁琐。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种用于质谱检测的真空高压运动平台，以解决上述问题的不足之处。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于质谱检测的真空高压运动平台，包括腔体、高压传导部件、样品靶板拖、xy运动机构，所述腔体内部底板上设有XY运动机构、所述高压传导部件一端与腔体连接，另一端与样品靶板拖连接，所述样品靶板拖连接在xy运动机构上。

进一步的，所述腔体内部底板上设有x轴导轨定位槽，右侧壁设有分子泵接口、高压电极接口，后侧壁设有潘宁规接口，前侧壁设有电极驱动转接航插接口。

进一步的，所述高压传导部件包括真空高压电极、高压传导极片、高压引入连接件、绝缘柱、接触铜刷，所述真空高压电极前端穿出腔体右侧壁上的高压电极接口，后端连接高压传导极片，所述高压传导极片另一端连接高压引入连接件，所述高压引入连接件另一端底部连接有绝缘柱，所述绝缘柱底部连接在xy运动机构的x连接板上表面，所述接触铜刷固定连接在高压引入连接件前端下侧，且与高压传导极片的上表面可接触连接。

进一步的，所述样品靶板拖包括靶拖、绝缘连接柱、靶拖固定板，所述靶拖固定板固定连接在XY运动机构的y连接板上，所述靶拖固定板上表面设有绝缘连接柱，所述绝缘连接柱的顶部连接有靶拖。

进一步的，所述靶拖内部设有导气孔。

进一步的，所述xy运动机构包括x轴导轨、x轴电机、x轴丝杠、x连接板、y轴电机、y轴丝杠、y轴丝杠螺母、y连接板，两个所述x轴导轨分别设置在腔体内的x轴导轨定位槽中，两个所述x轴导轨上共同滑动连接有x连接板，所述x连接板通过y轴导轨连接有y连接板，所述y连接板的上表面固定连接有样品靶板拖，所述x轴电机和y轴电机分别通过齿轮减速器连接x轴丝杠和y轴丝杠，并通过x轴丝杠螺母、y轴丝杠螺母分别连接x连接板、y连接板，所述x连接板边缘处连接有螺母连接板，所述x轴丝杠螺母连接在螺母连接板上，所述x轴丝杠的另一端连接有轴承固定座，所述轴承固定座固定在腔体内部底板上，所述轴承固定座外侧设有与x轴丝杠连接的x编码器，所述x连接板的两侧均设有x方向光耦挡片，在所述腔体内侧底部两端还设有x光耦，所述y连接板的两侧设有y光耦挡片，所述x连接板上表面两侧均设有y轴光耦。

相对于现有技术，本发明所述的用于质谱检测的真空高压运动平台具有以下优势：

本发明所述的用于质谱检测的真空高压运动平台在真空环境下实现低成本的高精度二维运动，实现高压导入同时与运动平台绝缘，进一步降低了飞行时间质谱仪的生产成本，同时可适用于其他小型在真空下运动的设备。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例所述的真空高压运动平台结构示意图；