[发明专利]耐高温的改性聚丙烯薄膜及其制备方法和应用

权利要求书

1.改性聚丙烯薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

用ALD技术在聚丙烯薄膜薄膜表面沉积氮化物层，制得所述改性聚丙烯薄膜；

用所述ALD技术在聚丙烯薄膜薄膜表面沉积氮化物层，制得所述改性聚丙烯薄膜的具体过程为：将聚丙烯薄膜置于ALD的反应腔体中，抽真空，然后升温，通入载气，将至少两种前驱体交替通入反应腔体中进行反应，即制得所述改性聚丙烯薄膜；所述前驱体包括提供金属元素或Si、硼的前驱体和提供氮元素的前驱体；

所述金属元素选自Al、Ti、Ta中的至少一种；所述抽真空的真空度为250mTorr以下；所述前驱体的反应的温度不超过100℃；

每一次每种前驱体的脉冲时长为21-200毫秒；每一次前驱体脉冲之后惰性气体的冲洗时长为3-6秒钟；

所述氮化物层的厚度为20-500nm;

所述改性聚丙烯薄膜在140℃下可承受的电压为580KV/mm。