[发明专利]一种新型扩散泵冷却装置在审

专利信息
申请号: 202010921150.1 申请日: 2020-09-04
公开(公告)号: CN112128149A 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 深圳第三代半导体研究院
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 代理人: 彭随丽
地址: 518055 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 扩散 冷却 装置
【权利要求书】:

1.一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,包括:泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11);

所述环形冷却水管组(3)包括围绕所述泵体(1)设置的上端环形冷却水管和下端环形冷却水管;

所述笔直型冷却水管组(4)包括设置在所述上端环形冷却水管和下端环形冷却水管之间的多个笔直型冷却水管;

所述线圈型冷却水管(5)设置在所述泵体(1)外壳的内壁上,所述泵体(1)外壳、所述线圈型冷却水管(5)、笔直型冷却水管组(4)和环状冷却水管组(3)为一体化密封连接;

所述油锅保温罩(2)设置在所述泵体(1)下端,所述冷却水夹层壳体(6)固定于所述油锅保温罩(2)外侧。

2.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述上端环状冷却水管和下端环状冷却水管嵌入在泵体(1)外壳,所述环状冷却水管组进水口(7)设置在所述上端环状冷却水管,所述环状冷却水管组出水口(8)设置在所述下端环状冷却水管。

3.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述环状冷却水管组(3)的冷却水管横截面内径为2.0~2.2cm,外径为2.7~3.0cm。

4.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述线圈型冷却水管(5)为多匝线圈式结构,每两匝线圈的间距为2.0~2.5cm,所述线圈型冷却水管(5)的内径为3.8~4.3mm,外径为7.0~7.5mm,所述线圈型冷却水管(5)的两端连接在环形冷却水管组(3)上并与其密封连通。

5.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述笔直型冷却水管组(4)的多个笔直型冷却水管平行排列嵌于所述泵体(1)外壳的外壁上,每两个所述笔直型冷却水管的间距为2.0~2.5cm,所述笔直型冷却水管(4)的内径为3.8~4.3mm,外径为7.0~7.5mm。

6.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述冷却水夹层壳体(6)为封闭的圆筒状结构,其内部为中空设置,外部设置有多个缺口的壳体。

7.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述冷却水夹层壳体(6)的内径与所述油锅保温罩(2)外径相同,所述冷却水夹层壳体(6)的外径比内径大0.8cm。

8.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,冷却水夹层壳体(6)的上端设置有所述冷却水夹层壳体进水口(9),下端设置有所述冷却水夹层壳体出水口(10),所述冷却水夹层壳体进水口(9)与所述环状冷却水管组出水口(8)通过外接冷却水管(11)密封连接,形成整体循环水冷却系统。

9.根据权利要求1所述的一种新型扩散泵冷却装置,其特征在于,所述环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)与所述泵体(1)材料均为不锈钢材料。

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