[发明专利]在玻璃基板与微结构层之间具有高键合强度的微光学元件

权利要求书

1.一种微光学元件，包括：

玻璃基板，所述玻璃基板的厚度t≤1500μm、优选t≤1200μm、更优选t≤1100μm；以及

由压印在所述玻璃基板上的聚合物形成的微结构层；

其中所述微结构层与所述玻璃基板之间的键合强度大于0.5MPa、优选大于1MPa、更优选大于1.5MPa；

所述玻璃基板的总厚度变化TTV≤40μm、优选TTV≤30μm、更优选TTV≤20μm、特别优选TTV≤10μm、最优选TTV≤5μm；

所述玻璃基板的厚度公差为δ≤80μm、优选δ≤50μm、更优选δ≤20μm、进一步优选δ≤10μm、特别优选δ≤5μm、最优选δ≤2μm。

2.根据权利要求1所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板具有特定数量的非桥氧NBO≥0.3、优选NBO≥0.5、更优选NBO≥1、特别优选NBO≥1.5、最优选NBO≥2，

其中NBO＝(R₂O+R'O)/(P₂O₅+Al₂O₃+B₂O₃+TiO₂+ZrO₂)；和/或

比率X＝(R₂O+R'O-P₂O₅-Al₂O₃-B₂O₃)/(SiO₂+P₂O₅+Al₂O₃+B₂O₃)大于-0.2、优选大于0、更优选大于0.2；

其中R为碱金属，包括Li、Na、K；R'是碱土金属，包括Mg、Ca、Ba；并且所述玻璃基板的低的胶接触角θg小于35°、优选小于25°、更优选小于15°，

和/或

所述玻璃基板的翘曲≤500μm、优选≤100μm、更优选≤80μm、最优选≤50μm，

和/或

所述玻璃基板的TTV与玻璃厚度之比小于10％、优选小于8％、更优选小于5％。

3.根据权利要求1至2任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板的表面粗糙度Ra≤20nm，优选Ra≤10nm，并且更优选Ra≤5nm。

4.根据权利要求1至3任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃包括以下基于氧化物的摩尔％成分：

5.根据权利要求1至4任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板的折射率n_d在1.4至2.5的范围内、优选在1.45至1.8的范围内、并且更优选在1.45至1.55的范围内、优选在1.41至2.1的范围内、优选在1.42至2.0的范围内、优选在1.45至1.9的范围内、优选在1.45至1.8的范围内、优选在1.45至1.7的范围内、最优选在1.45至1.6的范围内。

6.根据权利要求1至5任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板的透射率T≥90％、优选地T≥91％。

7.根据权利要求1至6任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板的热膨胀系数CTE_20-300℃≤15×10^-6/K、优选CTE_20-300℃≤10×10^-6/K。

8.根据权利要求1至7任一项所述的微光学元件，其特征在于，所述玻璃基板的CTE_玻璃与所述微结构层的CTE_聚合物的比率CTE_聚合物/CTE_玻璃≤100、优选CTE_聚合物/CTE_玻璃≤80。