[发明专利]测试设备和测试方法

说明书

一种测试设备和测试方法，所述测试设备包括：检测接口装置，配置为容纳待测试半导体器件；信号采集装置，配置为采集至少一个脉冲信号；信号提供装置，配置为向待测试半导体器件提供具有可调的物理特征的至少一个脉冲信号；状态获取装置，配置为在检测接口装置中两个检测接口之间获取待测试半导体器件的实时状态；预处理装置；以及控制器，配置为响应于实时状态，调整至少一个脉冲信号的物理特征，以获得至少一个脉冲信号的物理特征与实时状态二者的关系。该测试设备可以通过调整脉冲信号来动态地执行待测试半导体器件的超高速脉冲测试。

技术领域

本公开实施例涉及一种测试系统和测试方法。

背景技术

随着大数据和人工智能应用的不断普及，面向存算一体的存储器成为产业界和学术界竞相研究的目标，力求向着高性能，低成本，低能耗和高速的方向发展。

发明内容

本公开至少一实施例提供一种测试设备，该测试设备包括：检测接口装置，配置为容纳待测试半导体器件且包括多个检测接口，多个检测接口分别用于与待测试半导体器件的多个端子连接；信号提供装置，配置为通过检测接口装置的多个检测接口中至少一个向待测试半导体器件提供具有可调的物理特征的至少一个脉冲信号；信号采集装置，配置为采集至少一个脉冲信号；状态获取装置，配置为在检测接口装置中两个检测接口之间获取待测试半导体器件的实时状态，待测试半导体器件的实时状态取决于至少一个脉冲信号的物理特征；预处理装置，配置为用于通过检测接口装置中至少两个检测接口对待测试半导体器件执行至少一个预处理操作；以及控制器，配置为响应于至少一个脉冲信号的物理特征和实时状态，调整至少一个脉冲信号的物理特征，并且将调整后的至少一个脉冲信号提供给待测试半导体器件重新获取实时状态，以获得至少一个脉冲信号的物理特征与待测试半导体器件的实时状态二者的关系。

本公开至少一实施例还提供一种测试方法，该测试方法包括：提供待测试半导体器件；使用预处理装置对待测试半导体器件执行至少一个预处理操作；使用信号提供装置向待测试半导体器件提供具有可调的物理特征的至少一个脉冲信号；使用信号采集装置采集至少一个脉冲信号；使用状态获取装置从待测试半导体器件获取待测试半导体器件的实时状态，待测试半导体器件的实时状态取决于至少一个脉冲信号的物理特征；以及响应于至少一个脉冲信号的物理特征和实时状态，调整至少一个脉冲信号的物理特征，并且将调整后的至少一个脉冲信号提供给待测试半导体器件重新获取实时状态，以获得至少一个脉冲信号的物理特征与待测试半导体器件的实时状态二者的关系。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。

图1示出了本公开至少一实施例提供的一种测试设备的框图；

图2示出了本公开至少一实施例提供的另一种测试设备的框图；

图3示出了本公开至少一实施例提供的又一种测试设备的框图；

图4示出了本公开至少一实施例提供的再一种测试设备的框图；

图5示出了本公开至少以具体实施例提供的一种待测试的半导体器件的示意图；

图6示出了本公开至少以具体实施例提供的一种测试设备的框图；

图7示出了本公开至少一实施例提供的一种测试方法的流程图；

图8示出了本公开至少一实施例提供的另一种测试方法的流程图；

图9示出了本公开至少一实施例提供的又一种测试方法的流程图；

图10示出了本公开至少一实施例提供的再一种测试方法的流程图；

图11示出了本公开至少一实施例提供的一种针对三端半导体的测试方法的流程图；