[发明专利]一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备

说明书

本发明公开了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，包括气源，联结气源的主气路，输入端与主气路输出端联结的第一气路，安装在第一气路上的制冷装置，安装在第一气路上的加热装置，安装在第一气路上的热流罩；输入端与主气路输出端联结的第二气路，第二气路的输出端联通设置在热流罩外侧的气体隔绝层，与主气路输出端联结的第三气路，与第三气路输出端联结的行程气缸，行程气缸与和热流罩联结的加热器装置联结，气源输出至主气路，主气路和第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置；本发明能够更好的提升温控能力和温控精度，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，使得操作监控等更加便捷。

技术领域

本发明属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备。

背景技术

为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。

然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本发明提供了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备包括气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热器装置联结，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。

根据本专利背景技术中对现有技术所述，采用多个设备来回切换，不仅设备复杂，操作不便，而且成本更高，同时效率较低，温度调节不便，并且能源消耗大，温控能力和温控精度都较差；而本发明公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，由于采用复叠冷却系统和加热系统的配合，能够更好的提升温控能力和温控精度，及多级油尘、特定湿气处理系统，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，同时，采用运动热流罩、气体隔绝层以及透明结构，使得操作监控等更加便捷。

另外，根据本发明公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备还具有如下附加技术特征：

进一步地，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。所述干燥再生系统用于除去气流中的相应水气，同时采用两套水气过滤系统，两套水气过滤系统可以同时工作，也可以单独工作，当其中一套系统单独工作时，另一套系统可以通过排气装置，将系统中的气体和过滤部件中的水气一同带出，起到重复利用的功能。