[发明专利]一种具有加速度带通功能的MEMS惯性闭锁开关

权利要求书

1.一种具有加速度带通功能的MEMS惯性闭锁开关，其特征在于，包括衬底(1)、支撑锚点(2)、质量块(3)、第一复位弹簧(4)、第二复位弹簧(6)、限位块(5)、闭锁机构(7)、下级锁止机构、过滤器(10)；

所述衬底(1)上设有支撑锚点(2)；所述限位块(5)固定在支撑锚点(2)上，所述质量块(3)可相对支撑锚点(2)滑动；所述质量块(3)一端设有第一横梁(3-1)，另一端设有第二横梁(3-2)；所述第一横梁(3-1)位于限位块(5)内；所述第二横梁(3-2)位于限位块(5)外部；所述限位块(5)内部设有质量块(3)主体和第一横梁(3-1)滑动的空腔；所述限位块(5)限制质量块(3)沿弹体轴向以及沿垂直于弹体轴向的滑动距离；所述质量块(3)主体中间设有空腔，空腔内平行连接有两个第一复位弹簧(4)，两个第一复位弹簧(4)与固定块(11)相连；所述第二横梁(3-2)连接有两个第二复位弹簧(6)；两个第二复位弹簧(6)与固定横梁(12)相连，所述固定块(11)、固定横梁(12)均固定在支撑锚点(2)上；所述第二横梁(3-2)与固定横梁(12)之间设有闭锁机构(7)，且所述闭锁机构(7)设置在两个第二复位弹簧(6)之间；所述第二横梁(3-2)两端设有下级锁止机构；所述限位块(5)内还设有两个悬臂结构的过滤器(10)，两个过滤器(10)分别位于第一横梁(3-1)的左右两侧，所述过滤器(10)用于限制质量块(3)受勤务载荷时的轴向位移，使得闭锁机构(7)无法闭锁，在目标载荷作用下闭锁机构(7)可实现闭锁。

2.根据权利要求1所述的MEMS惯性闭锁开关，其特征在于，所述闭锁机构(7)包括闭锁头(7-1)、锁钩(7-2)；所述闭锁头(7-1)固定在第二横梁(3-2)，所述固定横梁(12)上固定有两个锁钩(7-2)；闭锁头(7-1)和锁钩(7-2)形成卡扣结构。

3.根据权利要求1所述的MEMS惯性闭锁开关，其特征在于，所述第二横梁(3-2)两端分别设有锁钩，第二横梁其中一端锁钩与离心保险机构的锁钩共同构成下级锁止机构。

4.根据权利要求1所述的MEMS惯性闭锁开关，其特征在于，所述衬底(1)为硅基衬底。