[发明专利]一种超疏油有机涂层及其制备方法

说明书

本发明实施例公开了一种超疏油有机涂层及其制备方法；该超疏油有机涂层原料包括以下质量份组分：二氧化硅纳米粒子3份、碳化硅纳米粒子1份、有机溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化剂10份以及质量占比为98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径。

技术领域

本发明实施例涉及有机涂层领域技术领域，尤其涉及一种超疏油有机涂层及其制备方法。

背景技术

在硅片制造领域中，为了对工件进行加工以及冷却，会在多线切割工艺和双面研磨工艺中使用大量的砂浆。这种砂浆是由如碳化硅、三氧化二铝、二氧化硅等颗粒和油性或水性聚合物以及分散剂组成的，并且在工艺实施过程中循环使用。但是砂浆在循环使用的过程中会有一部分残留在工艺设备的表面，而这类工艺设备的表面一般为金属、有机物或玻璃等高表面能的材料，导致砂浆一旦残留在表面就会很难除去。

目前，为了去除工艺设备在工艺实施过程中残留于表面的砂浆，通常会利用辅助溶剂进行清洁，但是清洁之后的辅助溶剂会进入循环使用的砂浆中，导致砂浆浓度降低，而为了保证工件的质量，就需要在工艺实施过程中不断地加入新的砂浆以保证砂浆浓度，如此，降低了砂浆的使用效率，造成了砂浆的浪费，增加了工艺成本。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例期望提供一种超疏油有机涂层及其制备方法；能够减少砂浆对工艺设备表面的污染，降低砂浆的浪费，提高砂浆的使用效率，降低工艺成本。

本发明实施例的技术方案是这样实现的：

第一方面，本发明实施例提供了一种超疏油有机涂层，所述超疏油有机涂层原料包括以下质量份组分：

二氧化硅纳米粒子3份、碳化硅纳米粒子1份、有机溶液10份、聚二甲基硅氧烷1份、固化剂10份以及质量占比为98％乙醇溶液120份至240份；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径。

第二方面，本发明实施例提供了一种超疏油有机涂层的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

按照质量份配比将3份二氧化硅纳米粒子和1份碳化硅纳米粒子分散于10份有机溶液中，获得第一悬浮液；其中，所述二氧化硅纳米粒子的粒径小于所述碳化硅纳米粒子的粒径；

通过磁力搅拌装置以每分钟1200转至2000转的转速搅拌所述第一悬浮液30分钟，获得第一混合物；

按照质量份配比将1份的聚二甲基硅氧烷与10份的固化剂混合并通过磁力搅拌装置以每分钟1200转至2000转的转速搅拌10分钟，获得第二混合物；

将所述第一混合物与所述第二混合物放入超声波仪器中，并通过机械搅拌装置进行4小时至8小时混合搅拌；其中，在混合搅拌期间，保持28摄氏度的加热温度并且按照每10分钟加入5质量份的频率加入质量占比为98％的乙醇溶液；

将混合搅拌完毕后所得到的浆料喷涂于设备表面，并利用烘干机对喷涂有所述浆料的设备表面进行加热，加热温度为40℃，待浆料固化后获得超疏油有机涂层。

本发明实施例提供了一种超疏油有机涂层及其制备方法；与现有技术相比，本发明实施例具有如下有益效果：减少砂浆对工艺设备表面的污染，降低砂浆的浪费，提高砂浆的使用效率，降低工艺成本。

附图说明

图1为本发明实施例提供的未涂覆超疏油有机涂层时砂浆与工艺设备的金属表面之间的接触角示意图；

图2为本发明实施例提供的一种超疏油有机涂层的制备方法流程示意图；

图3为本发明实施例提供的在电子显微镜下所观测到的超疏油有机涂层的图像；

图4为本发明实施例提供的涂覆超疏油有机涂层之后砂浆与工艺设备的金属表面之间的接触角示意图。

具体实施方式