[发明专利]一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置

说明书

本发明公开了一种用于法布里‑珀罗干涉仪透明基板的整平装置，其包括支撑基座、保护壳体、初步整平组件、平面测距组件以及精整平组件，所述支撑基座的上端面安装有初步整平组件，所述初步整平组件通过其上下相对挤压作用对透明基板外表面进行整平工作，使得透明基板外端面光整性偏差恒定在其误差范围内；所述支撑基座的上端面设置有平面测距组件，所述平面测距组件有效对透明基板的局部端面齐平度进行测量，记录并传输其检测数据至精整平组件，且，所述平面测距组件的正上方设置有精整平组件，该所述精整平组件根据检测数据对整平工作面进行精确调整，使得其整平工作面完全适配于透明基板对应外表面。

技术领域

本发明涉及法布里-珀罗干涉仪修复设备技术领域，具体为一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置。

背景技术

法布里-珀罗干涉仪被用作光学滤波器并且用在光谱传感器中，法布里-珀罗干涉仪以平行分光镜为基础，从而在法布里-珀罗腔被形成为反射镜(mirror)之间的间隙，布置为形成光学腔；可以通过调节反射镜之间的距离(即，间隙的宽度)控制法布里-珀罗干涉仪的通带波长(pass band wavelength)，常见的是使用微机械技术生产法布里-珀罗干涉仪。现有技术中，可以通过改变镜子之间的距离来改变透射峰的光谱位置，且在装置观测表面一般设有透明基板，受长期夹持作用力作用影响，使得其圆周表面出现内凹式折弯形变，并且由于其需在使用时多次旋转调节，导致透明基板端面易形成不同程度的弯曲起伏，因此有必要提出一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置，以解决上述问题。

发明内容

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置，其包括支撑基座、保护壳体、初步整平组件、平面测距组件以及精整平组件，其中，所述支撑基座的下端面对称设置有用于支撑固定的条形支撑腿，其上端面两侧通过螺栓固定连接有保护壳体，所述保护壳体左右两侧均设有传输口，用于送入获取出透明基板，所述支撑基座的上端面安装有初步整平组件。

所述初步整平组件通过其上下相对挤压作用对透明基板外表面进行整平工作，使得透明基板外端面光整性偏差恒定在其误差范围内；

所述支撑基座的上端面设置有平面测距组件，所述平面测距组件有效对透明基板的局部端面齐平度进行测量，记录并传输其检测数据至精整平组件。

且，所述平面测距组件的正上方设置有精整平组件，该所述精整平组件根据检测数据对整平工作面进行精确调整，使得其整平工作面完全适配于透明基板对应外表面。

作为本发明的一种优选技术方案，所述初步整平组件包括上平整装置、下平整装置以及传送带，其中，所述保护壳体内部一侧竖直固定有连接隔板，所述保护壳体内部上侧贴合固定有分离板，且所述支撑基座的上端面左右两侧通过支撑柱倾斜设置有传送带，所述传动带与所述分离板相互平行间隔设备，使得保护壳体两侧形成输送空间；

所述保护壳体的内部上侧设置有上平整装置，且所述支撑基座的上端面通过固定座固定设置有下平整装置，所述上平整装置与所述下平整装置相互平行配合，在对透明基板横向输送的同时对其端面进行整平工作；

所述保护壳体的内部两侧竖直对称设置有固定导杆，所述上平整装置通过设置在其两侧的滑动件限位滑动在所述固定导杆上。

且，所述保护壳体的内部中间位置上下对称固定有安装座，所述安装座内可相对转动的设置有连接导轮，所述连接导轮上啮合传动有连接齿链，所述连接齿链的一侧与所述上平整装置相固定，使得所述上平整装置经由连接齿链的啮合滑动有效调整其与所述下平整装置之间垂直间距。

作为本发明的一种优选技术方案，所述上平整装置与所述下平整装置内部结构相同，且其工作面传动方向一致，其中，所述上平整装置包括固定框架、挤压轮轴、安装传带、连接架、旋转电机以及整平盘座，所述固定框架内左右对称设置有挤压轮轴，且所述固定框架内对称安装有导向轮，所述挤压轮轴与导向轮上传动设置有安装传带，并通过所述安装传带对透明基板外表面进行抚平工作。