[发明专利]检测光学系统任意波长透射波前的方法

权利要求书

1.一种检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，利用4种波长为λ₁～λ₄的检测装置分别对光学系统进行检测，分别得到光学系统在波长为λ₁～λ₄的每点波前像差以及

步骤二，将得到的每点波前像差代入公式：

式中，为波长为λ_m时，坐标为(xi，yi)的点对应的波前相对参考波面的偏离值，

式中，i＝1，2，3，…，t

m＝1，2，3，4

当400nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤1000nm时，0.1≤Y₁≤3.4，3.6≤Y₂≤7.4，1.4≤Y₃≤2.5，6.1≤Y₁+Y₂≤7.5，

当300nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2500nm时，0.1≤Y₁≤3.4，3.6≤Y₂≤7.4，2≤Y₃≤2.5，6.8≤Y₁+Y₂≤7.5，

计算参数A_1i(x_i，y_i)、B_1i(x_i，y_i)，C_1i(x_i，y_i)，D_1i(x_i，y_i)的值；

步骤三，将计算得到的A_1i(x_i，y_i)、B_1i(x_i，y_i)，C_1i(x_i，y_i)，D_1i(x_i，y_i)的值代入公式(1)中，计算光学系统在波长为λ_n的波前像差

步骤四，根据波前像差得到波长为λ_n的光学系统完整的透射波前。

2.根据权利要求1所述的检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述检测装置为激光干涉仪。

3.根据权利要求1所述的检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述光学系统为单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述光学系统为复消色差系统。

5.根据权利要求1所述的检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于

其中，所述光学系统为任意形状口径。