[发明专利]一种三轴振动传感器的校准方法

权利要求书

1.一种三轴振动传感器的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：材料准备，选取一个正直角三棱锥（2），三个待校准MEMS模块（3），螺钉，一次性速干胶水和标准振动源（1）；

S2：正直角三棱锥底（2）端的中心处开设有螺钉孔（6），使螺钉孔（6）与螺钉的一端固定连接，螺钉的另一端与标准振动源（1）轴向的中心处开设的轴孔（5）固定连接，然后在正直角三棱锥（2）的三个面涂设一次性速干胶水，将三个待校准MEMS模块（3）分别粘在对应的三个面上；

S3：使标准振动源（1）通过外接开关与外接电源电性连接，打开标准振动源（1）进行校准；

S4：a1：标准的正直角三棱锥（图9）的几何图形，TA ⊥ TBC平面，TB ⊥ TAC平面，TC ⊥TAB平面， 三条棱TA = TB = TC，三条底边AB = BC = AC ，TD为直角三角形ABT的底高，TH为正直角三棱锥（2）顶端垂直于底面的正直角三棱锥（2）高，由于TC ⊥ TAB平面，即TC垂直于TAB平面上的任意直线，因此TC ⊥ TD，设TD = a，则AB = BC = AC = 2a，TA = TB = TC=a，CD=a，由三角形面积等效公式可知：TC×TD = CD×TH，即a×a = a×TH，因此TH =a ;

由此可知：TH和TC之间的夹角为：cos（）= cos（）≈54.7356；

TH方向刚好是标准振动源（1）的轴向方向，因此加装正直角三棱锥（2）之后的MEMS模块（3）在测量振动信号时，将比原来的值偏小；

a2：假设标准振动源（1）轴向所加的信号幅度为v，MEMS模块（3）的三个轴分别为TA、TB、TC方向，因此MEMS模块（3）三个轴测量的矢量值分别为、、，由于TA = TB =TC；因此三个轴测量的矢量值均为，

即实际测量值只有标准源输出值的，因此内部校准时固定乘上这个系数，即在校准时将MEMS模块内部测量的振动幅值再乘以倍，然后再将乘以倍后的值与标准值进行比对，并将此时的偏离值存下来，并作为特定频率的校准系数。

2.一种根据权利要求1所述的三轴振动传感器的校准方法的校准装置，其特征在于：所述校准装置包括标准振动源（1）、正直角三棱锥（2）和三个MEMS模块（3），所述正直角三棱锥有图9和图7两种形式，所述标准振动源（1）顶端的中心处固定安装有螺钉，所述螺钉的顶端固定安装有正直角三棱锥（2），所述正直角三棱锥（2）的三个侧面均粘贴有MEMS模块（3）。

3.根据权利要求2所述的一种校准装置，其特征在于：所述正直角三棱锥（2）底端的中心处开设有螺钉孔（6），四个所述螺钉孔（6）的内径与螺钉端头出的尺寸相匹配，且所述正直角三棱锥（2）的底部平面与所述标准振动源（1）之间涂有膏脂，以便润滑和密封。

4.根据权利要求2所述的一种三轴振动传感器的校准方法，其特征在于：所述正直角三棱锥（2）与MEMS模块（3）的连接处涂刷有密封胶。