[发明专利]微小金属流道内表面复合抛光用柔性线电极组件与方法

权利要求书

1.一种微小金属流道内表面复合抛光用柔性线电极组件，其特征在于：

包括柔性线电极和电极夹持装置（6）；

上述柔性线电极（1）由一根导电阴极丝（2）和一根绝缘柔性丝（3）相互螺旋缠绕而成，可随微小金属流道（4）形状任意弯曲；绝缘柔性丝（3）的直径大于导电阴极丝（2）的直径，导电阴极丝（2）位于绝缘柔性丝（3）形成的螺旋沟槽内；其中导电阴极丝（2）为柔性金属丝；绝缘柔性丝（3）为非导电材料软丝；

上述电极夹持装置（6）包括依次连接的管道接头（11）、往复环（13）和基座（14）；其中管道接头（11）用于连接输送磨粒电解液的高压管；基座（14）用于固定于夹具（8）上；其中管道接头（11）内还安装有夹持环（12）；夹持环（12）开设有中心夹持孔，还开设有磨粒电解液流入孔（15）；管道接头（11）与夹持环（12）之间通过楔形结构配合使夹持环（12）的夹持孔夹紧柔性线电极（1）第一端；管道接头（11）、往复环（13）和夹持环（12）可做相对于基座（14）的轴向往复运动。

2.利用权利要求1所述微小金属流道内表面复合抛光用柔性线电极组件的微小金属流道内表面电化学机械复合抛光方法，其特征在于包括以下过程：

用电极夹持装置（6）夹持住柔性线电极（1）；

导电阴极丝（2）接电源（7）负极，微小金属流道（4）接电源（7）正极；

上述柔性线电极（1）随夹持环（12）做往复运动，且其往复运动幅度大小与导电阴极丝（2）的螺距相等，使微小金属流道（4）内表面各处的电流密度和电荷转移量在宏观上保持动态一致；

混有磨粒（9）的电解液（5）经增压泵、高压管和夹持环（12）的磨粒电解液流入孔（15）注入微小金属流道（4），高速运动的磨粒（9）刮擦去除微小金属流道（4）内表面凸起处的钝化膜（10），实现对微小金属流道（4）内表面的整平。