[发明专利]激光束退火装置

权利要求书

1.一种激光束退火装置，配备有：

激光束源，能够发出激光束；

均化器，位于从所述激光束源发出的激光束的光路径上；

投影透镜部，位于通过所述均化器的激光束的光路径上；

密封壳体，收纳所述投影透镜部，并且具有能够使通过所述投影透镜部的激光束通过的密封开口；

密封透镜，位于所述密封开口，具有凸透镜和凹透镜中的任意一个；

退火壳体，收纳待退火的基板，并且具有能够使通过所述密封透镜的激光束通过的退火开口；以及

退火透镜，位于所述退火开口，具有所述凸透镜和凹透镜中的另一个。

2.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

密封遮蔽部，遮蔽所述密封壳体和所述密封透镜之间的空间，且具有柔性；以及

退火遮蔽部，遮蔽所述退火壳体和所述退火透镜之间的空间，且具有柔性。

3.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

密封驱动器，为了改变向所述密封透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述密封透镜。

4.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

密封驱动器，为了改变向所述密封透镜入射的激光束的入射角而能够旋转所述密封透镜。

5.如权利要求4所述的激光束退火装置，其中，

所述密封透镜是圆柱形透镜。

6.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

退火驱动器，为了改变向所述退火透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述退火透镜。

7.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

退火驱动器，为了改变向所述退火透镜入射的激光束的入射角而能够旋转所述退火透镜。

8.如权利要求7所述的激光束退火装置，其中，

所述退火透镜是圆柱形透镜。

9.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

密封驱动器，为了改变向所述密封透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述密封透镜；以及

退火驱动器，为了改变向所述退火透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述退火透镜，

其中，所述密封驱动器以如下方式移动所述密封透镜：在所述退火驱动器移动所述退火透镜时使与所述密封透镜的中心轴垂直的虚拟的第一平面与垂直于所述退火透镜的中心轴的虚拟的第二平面平行。

10.如权利要求1所述的激光束退火装置，其中，还配备有：

密封驱动器，为了改变向所述密封透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述密封透镜；以及

退火驱动器，为了改变向所述退火透镜入射的激光束的入射角而能够移动所述退火透镜，

其中，所述退火驱动器以如下方式移动所述退火透镜：在所述密封驱动器移动所述密封透镜时使与所述退火透镜的中心轴垂直的虚拟的第二平面与垂直于所述密封透镜的中心轴的虚拟的第一平面平行。