[发明专利]一种可调幅的高频高压静电电源

权利要求书

1.一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：其包括全控整流电路DB1、滤波母线电容C1、第一电子开关全桥电路、第二电子开关全桥电路、第一串联谐振逆变电路和第二串联谐振逆变电路和高压硅堆整流电路，其将调压与高频电源技术相结合，直接从母线电压入手，通过调节母线电压降低输出的峰值电压电流。

2.根据权利要求1所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：全控整流电路DB1用于将交流电整流得到幅值可调的直流；滤波母线电容C1用于将全控整流电路DB1输出的直流电平滑处理，得到平滑的母线电压。

3.根据权利要求1所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第一电子开关全桥电路用于将母线电容C1的直流电进行逆变，得到脉动的直流电；第二电子开关全桥电路用于将母线电容C1的直流电进行逆变，得到与第一电子开关全桥电路相位相差180°的脉动的直流电。

4.根据权利要求1所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第一串联谐振逆变电路用于与第一电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到宽度一定的脉冲电压；第二串联谐振逆变电路用于与第二电子开关全桥电路相结合产生谐振，得到与第一串联谐振逆变电路相位相差180°的脉冲电压。

5.根据权利要求1所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：高压硅堆整流电路用于将变压器输出的高压交流电整流成高压直流电，供负载使用。

6.根据权利要求3所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第一电子开关全桥电路由IGBTA、IGBTa、IGBTB、IGBTb构成，IGBTA的发射极与IGBTa的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTB的发射极与IGBTb的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第一电子开关全桥电路。

7.根据权利要求3所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第二电子开关全桥电路由IGBTC、IGBTc、IGBTD、IGBTd构成，IGBTC的发射极与IGBTc的集电极相串联得到全桥电路的左臂，IGBTD的发射极与IGBTd的集电极相串联得到全桥电路的右臂，串联的左臂右臂再并联得到第二电子开关全桥电路。

8.根据权利要求4所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第一串联谐振逆变电路由C2、L1、T1上端原边绕组相构成，C2、L1与T1上端原边绕组依次串联形成第一串联谐振逆变电路。

9.根据权利要求4所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：第二串联谐振逆变电路由C3、L2、T1下端原边绕组相构成，C3、L2、T1下端原边绕组依次串联形成第二串联谐振逆变电路。

10.根据权利要求5所述一种可调幅的高频高压静电电源，其特征在于：高压硅堆整流电路由DB2、DB3构成，DB2的输入端与T1上端副边绕组相并联，DB3的输入端与T1下端副边绕组相并联，DB2、DB3的输出端相互并联形成高压硅堆整流电路。