[发明专利]X射线校准标准对象

权利要求书

1.一种标准参考板，所述标准参考板被配置用于插入到电子束增量制造设备，以用于校准所述电子束增量制造设备的电子束的大小、形状和位置，其中所述标准参考板被配置用于在校准之后从所述增量制造设备移除，所述标准参考板包括：

基本上平行并且彼此间隔开地附着的下部板和上部板，所述上部板包括多个孔，其中在所述孔内提供预定的中空图案，其中所述孔之间的间隔和所述孔的所述大小以及所述上部板与下部板之间的距离以及所述增量制造设备的X射线传感器相对于所述标准参考板的位置被布置，使得当所述电子束的至少一部分正通过所述中空图案的中空部分时，发源于所述下部板的x射线将不直接从所述下部板通过所述孔中的任一个孔而到所述X射线传感器。

2.根据权利要求1所述的标准参考板，其中：

所述上部板包括第一板和第二板；

所述第一板包括所述多个孔；和

所述第二板包括所述预定的中空图案。

3.根据权利要求2所述的标准参考板，其中所述第二板的厚度至多是所述第一板的厚度的五分之一。

4.根据权利要求2所述的标准参考板，其中：

所述上部板还包括第三板，所述第三板包括与所述第一板的所述多个孔对准的附加的多个孔；以及

所述第二板定位于所述第一板和所述第三板之间。

5.根据权利要求4所述的标准参考板，其中所述第三板比所述第一板和所述第二板两者都厚。

6.根据权利要求4所述的标准参考板，其中所述第三板中的所述附加的多个孔具有圆锥形状，使得所述附加的多个孔中的每个孔的直径随着减小距所述下部板的距离而增大。

7.根据权利要求4所述的标准参考板，其中所述第二板由比所述第一板和所述第三板重的材料构成。

8.根据权利要求1所述的标准参考板，其中所述中空图案是交叉条图案。

9.根据权利要求1所述的标准参考板，其中所述中空图案对于所有孔都是相同的。

10.根据权利要求1所述的标准参考板，其中所述上部板和所述下部板由相同的材料制成。

11.一种标准参考板，所述标准参考板被配置用于插入到电子束增量制造设备，以用于校准所述电子束增量制造设备的电子束的大小、形状和位置，其中所述标准参考板被配置用于在校准之后从所述增量制造设备移除，所述标准参考板包括：

上部板，所述上部板包括第一板和第二板，其中所述第一板包括多个孔，并且所述第二板包括与所述多个孔对准的预定的中空图案；以及

与所述上部板间隔开的下部板，其中所述孔之间的间隔和所述孔的大小以及所述上部板与下部板之间的距离以及所述增量制造设备的X射线传感器相对于所述标准参考板的位置被布置，使得当所述电子束的至少一部分正通过所述中空图案的中空部分时，发源于所述下部板的x射线将不直接从所述下部板通过所述多个孔中的任一个孔而到所述X射线传感器。

12.根据权利要求11所述的标准参考板，其中：

所述上部板还包括第三板，所述第三板包括与所述第一板的所述多个孔对准的附加的多个孔；以及

所述第二板定位于所述第一板和所述第三板之间。

13.根据权利要求12所述的标准参考板，其中所述第三板比所述第一板和所述第二板两者都厚。

14.根据权利要求12所述的标准参考板，其中所述第三板中的所述附加的多个孔具有圆锥形状，使得所述附加的多个孔中的每个孔的直径随着减小距所述下部板的距离而增大。

15.根据权利要求12所述的标准参考板，其中所述第二板由比所述第一板和所述第三板重的材料构成。