[发明专利]一种振荡器及其制造方法

权利要求书

1.一种振荡器，其特征在于，包括：

重金属层；

所述重金属层上的叠层柱，所述叠层柱包括依次层叠的第一磁性层、隔离层和第二磁性层，所述第一磁性层和所述第二磁性层的磁化方向位于面内，所述第一磁性层耦合至所述重金属层产生振荡，所述第二磁性层产生杂散场。

2.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，所述重金属层的材料为Ta、Pt、W、Hf、Ir、CuBi、CuIr或AuW。

3.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，所述隔离层的材料可以为非磁性金属材料或绝缘材料。

4.根据权利要求1所述的振荡器，其特征在于，还包括：位于所述第二磁性层上的钉扎层。

5.根据权利要求4所述的振荡器，其特征在于，所述钉扎层的材料可以为IrMn、PtMn或CoPt。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的振荡器，其特征在于，所述第一磁性层或所述第二磁性层的材料为Fe、Co、Ni或它们的合金。

7.根据权利要求1-5任意一项所述的振荡器，其特征在于，所述叠层柱横截面的形状为圆形、椭圆形或方形。

8.根据权利要求1-5任意一项所述的振荡器，其特征在于，所述振荡器的振荡频率根据以下至少一种调节方式进行调节，所述调节方式包括：

所述第一磁性层和所述第二磁性层之间的距离、所述第二磁性层的饱和磁化强度以及所述第二磁性层的厚度进行调节。

9.一种振荡器的制造方法，其特征在于，包括：

在重金属层上形成第一磁性层，所述第一磁性层的磁化方向位于面内，所述第一磁性层耦合至所述重金属层产生振荡；

在所述第一磁性层上依次形成隔离层和第二磁性层，所述第二磁性层的磁化方向位于面内，所述第二磁性层产生杂散场。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述第二磁性层上形成钉扎层。