[发明专利]一种可穿戴式柔性温度传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种可穿戴式柔性温度传感器，其特征在于，该温度传感器包括：下柔性基板(1)、金属电极(2)、石墨烯层(3)和上柔性基板(4)；金属电极(2)固定连接在下柔性基板(1)的上表面，石墨烯层(3)固定连接在金属电极(2)的上表面，且石墨烯层(3)的顶面与上柔性基板(4)的底面连接。

2.按照权利要求1所述的基于双层膜柔性温度传感器，其特征在于，所述金属电极(2)固定连接在下柔性基板(1)的上表面，石墨烯层(3)固定连接在金属电极(2)的上表面，且石墨烯层(3)的顶面与上柔性基板(4)的底面连接。

3.按照权利要求1所述的基于双层膜柔性温度传感器，其特征在于，所述的下柔性基板(1)和所述的上柔性基板（4）由PET材料制成，所述的金属电极(2)为Cu或Ni中的一种金属。

4.按照权利要求1所述的基于双层膜柔性温度传感器，其特征在于，所述的下柔性基板(1)的厚度为100μm～500μm；金属电极板(2)的厚度为5μm～50μm；所述石墨烯层(3)的厚度设置为10μm～100μm。

5.一种权利要求1所述的基于双层膜柔性温度传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：

步骤一：将所述的下柔性基板(1)和上柔性基板(4)进行线性化、超声、干燥处理；

步骤二：利用磁控溅射法将金属电极(2)与下柔性基板(1)粘合；

步骤三：将上述的金属电极(2)进行氧气等离子刻蚀处理；

步骤四：在上述的金属电极(2)上旋涂石墨烯层(3)；

步骤五：在上述的石墨烯层(3)上方压制一层上柔性基板(4)，从而制成传感器。

6.根据权利要求5所述的一种可穿戴式柔性温度传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤一中，所述下柔性基板(1)和上柔性基板(4)在100℃的恒温箱中线性化20～30min，线性化后，在甲醇溶液中浸泡20～40min，再进行超声处理5～15min，随后，再将所述下柔性基板(1)和上柔性基板(4)浸泡在丙酮溶液中20～40min，最后，用去离子水漂洗所述下柔性基板(1)和上柔性基板(4)，并在65℃的干燥箱中烘干20～40min。

7.根据权利要求5所述的一种可穿戴式柔性温度传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，磁控溅射功率为120W，工作压力为5.067Pa，氩气的体积流速为20ml/min，沉积时间为10min。

8.根据权利要求5所述的一种可穿戴式柔性温度传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤三中，刻蚀功率为0.45±0.015W/cm²，刻蚀频率为13.56MHz。

9.根据权利要求5所述的一种可穿戴式柔性温度传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤四中，应用聚四氟乙烯胶带将裸露的下柔性基板(1)遮蔽，在所述的金属电极(2)上方旋涂石墨烯，然后在真空炉内100℃加热30min，所述步骤五中，在所述的石墨烯层(3)上方压制所述的上柔性基板(4)。