[发明专利]一种TiC靶材及其制备方法

说明书

本发明公开了一种TiC靶材及其制备方法，所述TiC靶材的密度为4.1‑4.6g/cm³，所述TiC靶材电阻率为0.1‑3mΩ.cm，其制备方法包括：(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；(2)使用热喷涂设备将TiC粉末喷涂在基体表面；(3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理，所述步骤(1)中基体为合金管或不锈钢管，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护，所述惰性气体为氮气或氩气。由于使用了气氛保护进行喷涂，靶材氧含量低，电阻率低，从而在镀膜的过程中溅射速率快。本发明采用等离子喷涂的方法制备TiC靶材，成本低，适合直流溅射制备薄膜且溅射稳定。

技术领域

本发明涉及靶材领域，具体是一种TiC靶材及其制备方法。

背景技术

TiC靶材是光学镀膜中普遍使用的一种靶材，在装饰镀膜中有广泛的应用前景，以前TiC 靶材的制备是通过烧结成型的方法制备，本发明首次采用等离子喷涂的方法制备TiC靶材， 成本低，适合直流溅射制备薄膜且溅射稳定。

发明内容

本发明要解决的技术问题就是克服以上的技术缺陷，提供一种TiC靶材及其制备方法。

为了解决上述问题，本发明的技术方案为：一种TiC靶材及其制备方法，所述TiC靶材 的密度为4.1-4.6g/cm³，所述TiC靶材电阻率为0.1-3mΩ.cm。

一种TiC靶材的制备方法，其制备方法包括以下步骤：

(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；

(2)使用热喷涂设备将TiC粉末喷涂在基体表面；

(3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。

作为改进，所述步骤(1)中基体为合金管或不锈钢管。

作为改进，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护，所述惰性气体 为氮气或氩气。

本发明与现有的技术相比的优点在于：由于使用了气氛保护进行喷涂，靶材氧含量低， 电阻率低，从而在镀膜的过程中溅射速率快。本发明采用等离子喷涂的方法制备TiC靶材， 成本低，适合直流溅射制备薄膜且溅射稳定。

具体实施方式

针对现有技术中的上述不足，本发明提供了一种鞋底用透气吸水性PU树脂的制备方法， 其制备简单，有效增强PU革的吸水透气性，同时本发明能够在保持PU革的手感的前提下， 有效提高PU革的耐磨性及环保性，且具有抗菌性。

实施例一

本实施例提供了一种旋转TiC靶材，所述旋转TiC靶材的密度为4.5g/cm³，电阻率为0.1m Ω.cm。

本实施例还提供一种旋转TiC靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：

(1)将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；

(2)使用热喷涂设备将TiC粉末或TiC丝喷涂在基体表面；

(3)对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。

所述步骤(1)中基体为不锈钢管，所述步骤(2)中对靶材进行喷涂时使用氮气对靶材 进行保护。

实施例二

本实施例提供了一种旋转TiC靶材，所述旋转TiC靶材的密度为4.48g/cm³，电阻率为 0.12MΩ.cm。

本实施例还提供一种旋转TiC靶材的制备方法，所述制备方法步骤如下：