[发明专利]一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器在审
| 申请号： | 202010939614.1 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN111855641A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陆炎;邓小燕;石霄雯;王昕灿;张智华;陶雨濛 | 申请（专利权）人： | 江苏航运职业技术学院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 刘红阳 |
| 地址： | 226000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通过 折射率 调控 散射 强度 金属 波导 传感器 | ||
1.一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，包括：玻璃板、薄银膜、薄金膜、厚金膜、基底，薄银膜覆盖在玻璃板的上层，薄金膜沉积在玻璃板的下层，厚金膜覆盖在基底上，基底与玻璃板贴合，样品室设置于厚金膜和薄金膜之间，薄金膜将样品室和玻璃板隔成上下两个类Fabry-Perot腔，每个腔中各自都能产生一系列的振荡导模场。
2.如权利要求1所述的一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，所述薄银膜厚度为30nm，所述薄金膜厚度为30nm，所述厚金膜厚度大于300nm，所述玻璃板厚度为1mm。
3.如权利要求2所述的一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，所述玻璃板上的薄银膜和薄金膜采用磁控溅射法镀膜，基底上的厚金属膜采用蒸发镀膜法镀膜，玻璃层之间采用光胶法粘合，最后通过衰减全反射技术检测其耦合效率，耦合模式的反射率在最低点不大于20％，最高点不小于80％。
4.如权利要求3所述的一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，所述基底材料为玻璃。
5.如权利要求4所述的一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，所述样品室内设置溶液，溶液折射率的变化导致拉曼散射效率的变化。
6.如权利要求5所述的一种通过折射率调控拉曼散射强度的金属波导传感器，其特征在于，所述两个类Fabry-Perot腔中的振荡导模场在薄金膜分界面上相互作用导致模式分裂，所述金属波导传感器结构中的模式密度提高一倍，入射光能量的耦合效率增大。
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