[发明专利]位置调整方法和位置调整装置

权利要求书

1.一种位置调整方法，对会聚激光束的聚光透镜的位置进行调整，其特征在于，

该位置调整方法具有如下的步骤：

保持步骤，利用卡盘工作台对被加工物进行保持；

拍摄步骤，在该保持步骤之后，从光源向分划板照射光，在经由该聚光透镜而使该分划板的图案投影至该卡盘工作台所保持的该被加工物的上表面的状态下，沿着包含该聚光透镜在内的规定的光学系统的光轴使该聚光透镜移动，从而将该聚光透镜定位于该光轴上的多个位置，对该聚光透镜被定位于各位置的情况下的该上表面进行拍摄；

计算步骤，计算通过该拍摄步骤而得到的各图像的对比度值；

预测步骤，根据通过计算步骤而计算的各图像的对比度值，将在将该聚光透镜定位于在该拍摄步骤中该聚光透镜未被定位的位置的情况下所得到的图像的对比度值进行多项式内插，从而预测得到对比度值最大的图像的该聚光透镜的位置；以及

位置调整步骤，将该聚光透镜定位于通过该预测步骤而预测的得到对比度值最大的图像的该聚光透镜的位置。

2.一种位置调整装置，其对会聚激光束的聚光透镜的位置进行调整，其特征在于，

该位置调整装置具有：

卡盘工作台，其对被加工物进行保持；

激光束照射单元，其具有该聚光透镜；

图案投影单元，其包含分划板和向该分划板照射光的光源，从该光源向该分划板照射光，从而经由该聚光透镜而使该分划板的图案投影至该卡盘工作台所保持的该被加工物的上表面；

聚光透镜位置调整单元，其在将该分划板的图案投影至该上表面的状态下，沿着包含该聚光透镜在内的规定的光学系统的光轴调整该聚光透镜的位置；

拍摄单元，其在该分划板的图案已被投影的状态下，在将该聚光透镜定位于该光轴上的多个位置的情况下分别得到该上表面的图像；以及

处理部，其对该拍摄单元所拍摄的图像进行处理，

该处理部包含：

计算部，其计算该拍摄单元所得到的各图像的对比度值；

存储部，其存储该计算部所计算的各图像的对比度值；以及

预测部，其根据该存储部所存储的各图像的对比度值，将在将该聚光透镜定位于在该拍摄单元中该聚光透镜未被定位的位置的情况下所得到的图像的对比度值进行多项式内插，从而预测得到对比度值最大的图像的该聚光透镜的位置，

在利用该激光束对该被加工物进行加工的情况下，该聚光透镜位置调整单元将该聚光透镜定位于通过该预测部而预测的得到对比度值最大的图像的该聚光透镜的位置。