[发明专利]X射线测量装置的校正方法

权利要求书

1.一种X射线测量装置的校正方法，所述X射线测量装置使用X射线对被测定物进行三维形状测量，所述X射线测量装置的校正方法的特征在于，

所述X射线测量装置具备：X射线源，其产生所述X射线；旋转台，其将所述被测定物以能够旋转的方式载置；以及X射线图像检测器，其对透过了所述被测定物的所述X射线进行检测，

所述X射线测量装置的校正方法包括：

载置工序，将校正治具载置于所述旋转台，所述校正治具用于将能够根据投影于所述X射线图像检测器的投影像确定的形状的基准物体以特定的相对位置间隔配置于N个部位，其中，N≥4；

前段特征位置计算工序，以不改变所述基准物体的特定的相对位置间隔的方式将配置于N个部位的所述基准物体的平行移动进行多次，在所述平行移动的前后，向所述校正治具照射所述X射线，并根据所述X射线图像检测器的输出来确定处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置；

单独矩阵计算工序，根据处于与所述平行移动的前后的位置对应的N个部位的该基准物体各自的投影像的特征点的位置，针对处于N个部位的所述基准物体分别计算用于进行该基准物体的向所述X射线图像检测器的检测面的投影变换的单独变换矩阵；

单独位置计算工序，基于所述单独变换矩阵来计算处于N个部位的所述基准物体各自的移动位置；

坐标统一工序，对所述平行移动的前后的各位置附加处于N个部位的所述基准物体各自的移动位置，来计算处于N个部位的所述基准物体的所述特定的相对位置间隔；

后段特征位置计算工序，向所述校正治具照射所述X射线，并根据所述X射线图像检测器的输出来确定处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置；

变换矩阵计算工序，根据处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置和所述特定的相对位置间隔来计算用于进行所述基准物体的向所述X射线图像检测器的检测面的投影变换的第一变换矩阵；

旋转检测工序，使所述旋转台以规定角度旋转两次以上，重复进行从所述后段特征位置计算工序至所述变换矩阵计算工序的工序；

位置计算工序，基于所述第一变换矩阵来计算每旋转所述规定角度时的所述基准物体的绝对位置；以及

中心位置计算工序，根据通过所述旋转台的旋转产生的所述基准物体的绝对位置的变化，来计算所述旋转台的旋转中心位置。

2.根据权利要求1所述的X射线测量装置的校正方法，其特征在于，

在所述单独矩阵计算工序中，假定不是配置于N个部位的所述基准物体进行了平行移动而是所述X射线源和所述X射线图像检测器进行了平行移动，基于所述单独变换矩阵，针对N个部位的每个部位计算所述X射线源的移动位置，基于该X射线源的移动位置来计算处于N个部位的所述基准物体各自的移动位置。

3.根据权利要求1所述的X射线测量装置的校正方法，其特征在于，

在所述坐标统一工序中，将对所述平行移动的前后的位置分别附加处于N个部位的所述基准物体各自的移动位置所得到的结果设为校正后移动位置，根据处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置和所述校正后移动位置来计算用于进行该基准物体的向所述X射线图像检测器的检测面的投影变换的第二变换矩阵，由此计算处于N个部位的所述基准物体的所述特定的相对位置间隔。

4.根据权利要求3所述的X射线测量装置的校正方法，其特征在于，

在所述坐标统一工序中，将计算出的所述校正后移动位置和所述第二变换矩阵设为作为变量的所述校正后移动位置和所述第二变换矩阵的初始值，对基于该校正后移动位置与该第二变换矩阵的关系计算出的处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置同实际检测出的处于N个部位的所述基准物体各自的投影像的特征点的位置的位置误差进行评价，由此计算所述校正后移动位置和所述第二变换矩阵。

5.根据权利要求1所述的X射线测量装置的校正方法，其特征在于，

使所述旋转台以特定的角度旋转多次，重复进行从所述前段特征位置计算工序至所述坐标统一工序的工序，

计算重复进行工序所得到的多次的所述特定的相对位置间隔的平均，或者将接下来重复进行工序时的所述平行移动的前后的位置与紧挨在之前计算出的所述特定的相对位置间隔进行对应。