[发明专利]MO源管路及其清洗方法

权利要求书

1.一种MO源管路的清洗方法，所述MO源管路包括分别与MO源钢瓶连接的MO进气管路和MO出气管路，所述MO进气管路经由第一常闭气动阀与载气入口连通，所述MO出气管路经由第二常闭气动阀与所述载气入口连通，所述第一常闭气动阀的进气口和所述第二常闭气动阀的出气口之间连接有常开气动阀，且所述MO进气管路和所述MO出气管路分别与MO真空管连接，其特征在于，所述清洗方法包括：

关闭连接在所述MO源钢瓶和所述MO进气管路之间的MO进气手阀以及连接在所述MO源钢瓶和所述MO出气管路之间的MO出气手阀；

用连通气管短接所述常开气动阀，使得向所述载气入口通入清洗气体时所述常开气动阀处于连通状态，其中，所述清洗气体包括第一清洗气体；

向所述载气入口通入所述第一清洗气体并利用所述第一清洗气体清洗所述MO源管路；

更换所述MO源钢瓶并检测所述MO源管路的漏率是否满足预设条件；以及

当所述MO源管路的所述漏率满足所述预设条件时，再次清洗所述MO源管路，然后移除将所述常开气动阀短接的所述连通气管。

2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，向所述载气入口通入所述第一清洗气体并利用所述第一清洗气体清洗所述MO源管路包括：

向所述载气入口通入所述第一清洗气体，所述MO进气管路和所述MO出气管路与所述MO真空管之间不连通，使得所述第一清洗气体到达所述第一常闭气动阀、所述常开气动阀、和所述第二常闭气动阀，并充满所述MO进气管路和所述MO出气管路；以及

断开所述第一常闭气动阀和所述第二常闭气动阀，将所述MO进气管路和所述MO出气管路分别与所述MO真空管连通，并将所述MO进气管路和所述MO出气管路中的所述第一清洗气体和残余MO蒸气经由所述MO真空管排出。

3.根据权利要求1或2所述的清洗方法，其特征在于，向所述载气入口通入所述第一清洗气体并利用所述第一清洗气体清洗所述MO源管路之后，且在更换所述MO源钢瓶并检测所述MO源管路的所述漏率是否满足所述预设条件之前，所述清洗方法还包括：

停止通入所述第一清洗气体，所述清洗气体还包括第二清洗气体；以及

向所述载气入口通入所述第二清洗气体并利用所述第二清洗气体清洗所述MO源管路。

4.根据权利要求3所述的清洗方法，其特征在于，向所述载气入口通入所述第二清洗气体并利用所述第二清洗气体清洗所述MO源管路包括：

向所述载气入口通入所述第二清洗气体，所述MO进气管路和所述MO出气管路分别与所述MO真空管之间不连通，使得所述第二清洗气体到达所述第一常闭气动阀、所述常开气动阀、和所述第二常闭气动阀，并充满所述MO进气管路和所述MO出气管路；以及

断开所述第一常闭气动阀和所述第二常闭气动阀，将所述MO进气管路和所述MO出气管路分别与所述MO真空管连通，并将所述MO进气管路和所述MO出气管路中的所述第二清洗气体和其他的残余MO蒸气经由所述MO真空管排出。

5.根据权利要求3或4所述的清洗方法，其特征在于，更换所述MO源钢瓶并检测所述MO源管路的所述漏率是否满足所述预设条件包括：

分别通过第一真空手阀和第二真空手阀控制所述MO真空管与所述MO进气管路和所述MO出气管路之间的连通和断开；

在所述MO进气手阀和所述MO进气管路之间设置MO VCR进气端口，并且在所述MO出气手阀和所述MO出气管路之间设置MO VCR出气端口；

关闭所述第一真空手阀和所述第二真空手阀，分别将所述第一常闭气动阀和所述第二常闭气动阀连通，使得所述第二清洗气体从所述MO VCR进气端口和所述MO VCR出气端口吹出；

更换所述MO源钢瓶以及所述MO VCR进气端口和所述MO VCR出气端口处的VCR垫片；以及

关闭所述第一常闭气动阀和所述第二常闭气动阀，通过连接在所述MO真空管一端的检漏仪进行检漏，向所述MO VCR进气端口和所述MO VCR出气端口输入氦气，以确定所述漏率是否满足所述预设条件。