[发明专利]一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备

权利要求书

1.一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧设有安装座(22)，所述底座(1)顶部的两端设有五组安装板(2)，五组所述安装板(2)相互靠近的一端皆设有转轴(25)，一组所述转轴(25)的外侧对称设有主动齿轮(23)，四组所述转轴(25)的外侧对称设有从动齿轮(6)，所述主动齿轮(23)和(26)的外侧设有与其相互啮合的内齿条(5)，所述内齿条(5)的外侧设有与其相互连接的输送带(4)，所述输送带(4)外侧的两端设有弧形挡板(3)，所述安装座(22)一侧的顶部设有晶体放置架(20)，所述安装座(22)另一侧的中间位置处设有控制台(21)，所述底座(1)顶部的中间位置处设有安装仓(9)，所述安装仓(9)内部的中间位置处设有固化腔(8)，所述固化腔(8)的内部设有加热器(7)，所述固化腔(8)内部顶部的两侧设有氮气注入口(19)，所述安装仓(9)的顶部设有安装槽(13)，所述安装槽(13)顶部的中间位置处设有伺服电机A(16)，所述伺服电机A(16)的输出端设有转杆B(15)，所述转杆B(15)外侧的顶部设有皮带轮B(17)，所述转杆B(15)外侧的底部设有内螺旋导风管(18)，所诉安装槽(13)内部顶部的两侧设有转杆A(11)，两组所述转杆A(11)外侧的顶部设有皮带轮A(12)，所述转杆A(11)外侧的底部设有扇叶(10)，所述皮带轮A(12)和皮带轮B(17)的外侧设有皮带(14)，一组所述安装板(2)的背面一端设有伺服电机B(24)，且伺服电机B(24)的输出端与一组转轴(25)相互连接，所述控制台(21)通过导线分别与加热器(7)、伺服电机A(16)和伺服电机B(24)呈电连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，其特征在于：所述晶体放置架(20)与输送带(4)相互配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，其特征在于：所述内螺旋导风管(18)外侧的顶部设有导风叶。

4.根据权利要求1所述的一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，其特征在于：所述伺服电机A(16)和伺服电机B(24)的外侧设有保护壳，且保护壳的内侧设有消音棉。

5.根据权利要求1所述的一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，其特征在于：所述弧形挡板(3)的外侧设有橡胶缓冲垫。

6.根据权利要求1所述的一种晶体用超洁净氮气保护固化网带炉设备，其特征在于：所述内螺旋导风管(18)与氮气注入口(19)和加热器(7)相互配合。