[发明专利]一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置

说明书

一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置。涉及微纳制造领域。光源加热组件的灯源为用于加热的线光源。其结构简单，能够在微纳成型过程中有效地进行固化速率调控、优化成型精度、提高立体成型质量，对于改善和优化微纳成型工艺具有积极意义。制备装置借助于光源加热组件，结构简单、成型精度高、制备效率高，能够实现多种复杂微纳结构的快速、准确成型，立体成型效果好。

技术领域

本发明涉及微纳制造领域，具体而言，涉及一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件和制备装置。

背景技术

近年来，基于微纳加工工艺的微纳电子传感器以其体积小、功耗低、灵敏度高、集成化程度高等优势吸引了广泛的关注，常见的微纳加工技术有机械微加工工艺、激光加工工艺、曝光刻蚀工艺、电铸沉积工艺等多种减材制备工艺，传统的减材微纳加工工艺面临着材料品种单一、成本较高、环境污染等问题，极大限制了微纳电子传感器的发展。随着微纳加工技术的发展，增材微纳加工技术逐渐得到完善，其中，利用电纺直写的方法进行微纳尺度图案喷印的方法以其灵活度高、材料兼容性好、成本低、绿色环保等优势获得广泛关注，具有广阔的应用前景。然而传统的喷印方法难以完成复杂多层微结构喷印制备，因此在微纳制备领域亟待一种新型的喷印工艺，解决传统的微纳喷印工艺精度差、立体成型困难等问题。

有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种光源加热组件，其结构简单，能够在微纳成型过程中有效地优化成型精度、提高制备速率，提高立体成型质量，对于改善和优化微纳成型工艺具有积极意义。

本发明的第二个目的在于提供一种制备装置，其结构简单、成型精度高、制备效率高，能够实现微纳结构的快速、准确成型，立体成型效果好。

本发明的实施例是这样实现的：

一种可用于微纳三维结构成型的光源加热组件，光源加热组件的灯源为用于加热的线光源。

进一步地，光源加热组件还具有用于调节灯源的照射位置的控制机构。

进一步地，控制机构包括：用于将灯源的照射位置沿第一预设方向进行调节的第一调节运动副。

进一步地，控制机构还包括：用于将灯源的照射位置沿第二预设方向进行调节的第二调节运动副。其中，第一预设方向同第二预设方向相垂直。

进一步地，控制机构包括：用于控制灯源的开、关以及光线强度的控制器。灯源沿第一预设方向连续设置，灯源均同控制器电连接，以使控制器能够分别单独地控制各个灯源。

进一步地，灯源同时沿第二预设方向连续设置，灯源沿第一预设方向和第二预设方向连续设置呈阵列分布。

一种可用于微纳三维结构成型的制备装置，其包括：上述的光源加热组件。

进一步地，制备装置包括：

成型组件；

供料组件；

供气组件；

用于承接由成型组件输出的成型料的收集板；

电源组件，其一极同成型组件的针管导电连接，另一极同收集板导电连接或接地；以及

用于驱动成型组件或收集板运动的位移控制组件。

进一步地，控制机构包括：用于控制灯源的开、关以及光线强度的控制器。灯源沿第一预设方向连续设置，灯源均同控制器电连接，以使控制器能够分别单独地控制各个灯源。第一预设方向垂直于收集板的板面设置。

进一步地，灯源同时沿第二预设方向连续设置，灯源沿第一预设方向和第二预设方向连续设置呈阵列分布。第二预设方向沿收集板的板面设置。