[发明专利]一种航空发动机零部件涂层的制备方法

权利要求书

1.一种航空发动机零部件涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将N列纵向靶材安装于涂层设备中，2≤N≤8；

步骤2：将零部件表面进行湿吹砂处理；

步骤3：将零部件浸入有机溶剂中超声清洗，进行表面去油处理，然后烘干；

步骤4：将烘干后的零部件装于涂层设备的真空室的样品架上，零部件位置正对纵向靶材；然后将真空室抽真空；

步骤5：当真空室的真空度至9×10^-3Pa时，同时开启涂层设备的主加热器和副加热器，使零部件升温至200~230℃；

步骤6：开启涂层设备的偏压电源，调节偏压至-800±10V，并向真空室内通入氩气；在-800±10V偏压下，离子轰击清洗零部件5~8min，除去零部件表面的氧化物和污染物，然后关闭氩气阀；

步骤7：开启N列纵向靶材的弧电流，并调节弧电流至80±5A，调节偏压至-200±10V，占空比为20±3%；同时控制样品架带动零部件进行公转和自转，N列纵向靶材同时蒸发粒子，蒸发粒子运动并沉积覆盖到零部件表面，进行涂层沉积，涂层沉积时间50~70min，涂层沉积时，真空室背底真空度≤7×10^-3Pa；

步骤8：待涂层沉积完成，关闭弧电流和偏压电源，紧接着关闭氩气阀；然后使零部件在≤5×10^-3Pa真空度条件下，冷却至100℃以下，最后取出零部件，完成镀层。

2.根据权利要求1所述的一种航空发动机零部件涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述有机溶剂为丙酮或石油醚。

3.根据权利要求1所述的一种航空发动机零部件涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述零部件为航空发动机的锥体，锥体尺寸为Φ（400~450）mm×（500~550）mm×δ（0.5~0.8）mm。

4.根据权利要求1所述的一种航空发动机零部件涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述零部件为航空发动机的调节片链，调节片链尺寸为（400~480）mm×（100~170）mm×δ（0.5~2）mm。

5.根据权利要求1所述的一种航空发动机零部件涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，所述零部件为航空发动机的密封片链，密封片链尺寸为（400~490）mm×（50~100）mm×δ（0.5~2）mm。