[发明专利]芯片近场扫描系统及方法

权利要求书

1.一种芯片近场扫描系统，用于获取大功耗芯片表面的电磁场近场信息，其特征在于，包括：

油槽，所述油槽内通入有流动的绝缘油；

样品台，设置在所述油槽内，所述样品台用于放置所述芯片，所述芯片浸没在所述绝缘油中；

探头，与所述芯片对应设置，所述探头用于在外部驱动源驱动下伸入所述绝缘油中并沿预设路径扫描，以获取所述芯片表面的电磁信号数据；以及，

处理系统，与所述探头连接，用于根据所述电磁信号数据得到所述芯片表面的电磁场近场信息。

2.根据权利要求1所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，还包括油泵，所述油泵通过循环管路与所述油槽的两端连通。

3.根据权利要求2所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，还包括散热器，所述散热器设置在所述循环管路上，用于带走所述绝缘油中的热量。

4.根据权利要求2所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，还包括冷却槽，所述油槽放置在所述冷却槽内，所述冷却槽和所述油槽之间具有间隔，所述间隔中充入有冷却液。

5.根据权利要求1所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，所述外部驱动源包括：

控制系统，所述控制系统的信号输入端与所述处理系统连接，用于接收所述处理系统发出的控制指令，并根据所述控制指令输出驱动脉冲；以及，

驱动组件，所述驱动组件的信号输入端与所述控制系统的信号输出端连接，驱动端与所述探头连接，所述驱动组件用于根据所述驱动脉冲驱动所述探头移动和/或转动。

6.根据权利要求5所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，所述驱动组件的移动控制精度小于或等于10微米，及角度控制精度小于或等于0.1度。

7.根据权利要求1所述的芯片近场扫描系统，其特征在于，还包括显微摄像头，所述显微摄像头的图像输出端与所述处理系统连接；

所述显微摄像头设置在垂直于所述探头和所述芯片中心连线的方向上，用于监控所述探头和所述芯片的相对位置。

8.一种芯片近场扫描方法，用于获取大功耗芯片表面的电磁场近场信息，其特征在于，包括：

将所述芯片对应探头位置放置在绝缘油中；

驱动探头伸入所述绝缘油中并沿预设路径扫描，以获取所述芯片表面的第一电磁信号数据；

根据所述第一电磁信号数据得到所述芯片表面的第一电磁场近场信息。

9.根据权利要求8所述的芯片近场扫描方法，其特征在于，在所述将所述芯片对应探头位置放置在绝缘油中之前，包括：

提供已知电磁场近场信息的校准件；

将所述校准件对应探头位置放置在所述绝缘油中；

驱动探头伸入所述绝缘油中并沿所述预设路径扫描，以获取所述校准件表面的第二电磁信号数据；

根据所述第二电磁信号数据得到所述校准件表面的第二电磁场近场信息；

调整所述探头的结构和/或材质，驱动所述探头重新沿所述预设路径扫描，直至所述第二电磁场近场信息与所述校准件的已知电磁场近场信息一致。

10.根据权利要求8或9所述的芯片近场扫描方法，其特征在于，所述驱动探头伸入所述绝缘油中并沿预设路径扫描，包括：

驱动所述探头以预设步进沿所述预设路径逐点扫描，直至遍历所述芯片表面的全部区域；且，

扫描的层数大于或等于2。